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J-GLOBAL ID：202202269641428663   整理番号：22A0285317

半導体プロセスで活躍する計測技術・機器 環境計測及び揮発性有機化合物(VOC)検知器とその応用

Environmental and Volatile Organic Compounds (VOC) measurement detectors and their applications.

著者 (1件)： 中川博司 (新コスモス電機)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 50  号： 1  ページ： 37-40  発行年： 2022年01月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本稿では,クリーンルームなどの製造工程や作業環境において発生するVOCを低濃度でも検知できる当社の熱線型半導体式センサを搭載した製品とその応用利用について紹介。
・ガスセンサの心臓部に使用される熱線型半導体式センサと接触燃焼式センサおよび気体熱伝導式センサの構造や外観および特長について解説。
・製造工程や作業環境に拡散したVOC検知用製品である定置式環境モニタCOD-203の外観や仕様および特長,さらに作業者個人の健康・安全管理用として開発した個人ばく露濃度計XV-389の紹介。
・半導体フォトリソ工程における除外装置の効果確認やリチウムイオン電池の製品検査など応用事例紹介。

シソーラス用語： *揮発性有機化合物 ,  *検出器 ,  *半導体プロセス ,  *ガスセンサ ,  化合物半導体 ,  白金 ,  金属線 ,  事例研究 ,  リチウムイオン電池 ,  漏れ ,  火災 ,  監視 ,  性能評価
準シソーラス用語： 環境計測 ,  金属酸化物半導体 ,  除害装置 ,  熱線型半導体センサ

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 半導体プロセス ,  計測技術 ,  環境計測 ,  揮発性有機化合物 ,  VOC ,  検知器 ,  応用