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J-GLOBAL ID：202202270199838323   整理番号：22A1086754

遠隔プラズマ源チェンバのモデリングと発電機設計【JST・京大機械翻訳】

Remote Plasma Source Chamber Modeling and Generator Design

著者 (3件)： Wu Tsai-Fu (Department of Electrical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan) ,  Yu Ling-Chia (Department of Electrical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan) ,  Kumari Anumeha (Department of Electrical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan)
資料名： IEEE Journal of Emerging and Selected Topics in Power Electronics  (IEEE Journal of Emerging and Selected Topics in Power Electronics)
巻： 10  号： 2  ページ： 2075-2087  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2402A  ISSN： 2168-6777  CODEN： IJESN2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,遠隔プラズマ源(RPS)の真空室におけるプラズマ負荷のモデリングを提示し,その発電機を設計し,それに対応して実行した。伝統的に,等価プラズマ負荷モデリングは,通常,実行が困難で,基本的に貫入するLangmuirプローブによって測定されるパラメータを取得した。特別な装置なしで周波数と流量関連等価RLC負荷へのプラズマ負荷をモデル化する簡単な方法をこの論文で提案する。等価負荷に基づいて,点火器として400kHz,プラズマ源発生器の持続器として動作する2つの異なる共振インバータを設計した。点火器はプラズマ進展を開始するためのトリガーとしてアルゴンガスで5kVの高電圧を生成し,維持装置は窒素ガスによるプラズマ発生を維持するために2.5kVAの最大電力を提供する。100から600sccmまで変化するガス流量の下でのプラズマ発生の中断を避けるために,出力電流を調節するための維持器上の周波数変調による簡単な比例積分(PI)制御を採用した。システム設計と等価負荷モデリングを,本論文におけるシミュレーションと実験結果によって検証する。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Langmuir探針 ,  *プラズマ ,  周波数変調 ,  プラズマ生成 ,  システム設計 ,  制御 ,  流量 ,  *発電機 ,  真空容器 ,  *プラズマ源 ,  *モデリング ,  点火装置
準シソーラス用語： *チャンバ ,  窒素ガス ,  ガス流量 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 風力発電  (NB03120Q) ,  電力系統一般  (NB02000E)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ源 ,  チェンバ ,  モデリング ,  発電機 ,  設計