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J-GLOBAL ID：202202270246112589   整理番号：22A0799847

スイングダイヤモンド工具による高アスペクト比を特徴とするマイクロレンズアレイの製作【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of a microlens array featuring a high aspect ratio with a swinging diamond tool

著者 (5件)： Zhang XinQuan (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China) ,  Chen ZaoZao (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China) ,  Chen JunNan (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China) ,  Wang ZhenDong (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China) ,  Zhu LiMin (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China)
資料名： Journal of Manufacturing Processes  (Journal of Manufacturing Processes)
巻： 75  ページ： 485-496  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3312A  ISSN： 1526-6125  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロレンズアレイは,それらのユニークな光学的形状および優れた光学特性のために,より広い応用を得ている。超精密ダイヤモンド旋削は,高い形状精度でマイクロレンズアレイを作製するのに好ましい。しかしながら,ダイヤモンド工具の逃げ面と仕上げ面の間の干渉は,高いアスペクト比を有するマイクロレンズアレイの機械加工におけるその応用を制限する。本論文では,回転運動(A軸)を導入して,ダイヤモンド切削工具をスイングし,実際の工具クリアランス角を実時間で調整して,工具干渉を効果的に防止できる,これらのマイクロレンズアレイを製作するために,遅い工具サーボ旋削技術に基づく新しい方法を提案した。機械加工システムと方法原理を最初に紹介した。次に,工具経路を生成し,工具ノーズ半径の影響を補償した。最後に,高アスペクト比の球状レンズアレイの切削実験を,ナノテク650UPL超精密旋盤上で行い,機械加工レンズを,光学顕微鏡,スタイラスプロフィルメータおよび白色光干渉計で検査した。提案方法で機械加工した球面レンズアレイの測定結果と従来の低速工具サーボ旋削法を比較し,高いアスペクト比を特徴とする高品質レンズアレイの作製における提案した方法の優位性を実証した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  *ダイヤモンド ,  *工具 ,  切削工具 ,  切削 ,  旋削 ,  旋盤 ,  *ダイヤモンド工具 ,  機械工作 ,  プロフィルメータ ,  ナノテクノロジー ,  形状精度
準シソーラス用語： *マイクロレンズアレイ ,  *レンズアレイ ,  逃げ面 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： マイクロレンズアレイ ,  高アスペクト比 ,  工具干渉 ,  超精密ダイヤモンド旋削 ,  ダイヤモンド工具の振動

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  その他の切削  (QC02040C)

タイトルに関連する用語 (5件)： スイング ,  ダイヤモンド工具 ,  高アスペクト比 ,  マイクロレンズアレイ ,  製作