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J-GLOBAL ID：202202270263049778   整理番号：22A1114858

Au被覆およびNi被覆基板上の(111)ダイヤモンド膜のホモエピタキシャル過成長【JST・京大機械翻訳】

Homoepitaxial overgrowth of (111) diamond films on Au-coated and Ni-coated substrates

著者 (8件)： Chiu Kun-An (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Wu Pin-Hsun (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Wang Wei-Lin (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Wei Lin-Lung (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Tian Jr-Sheng (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Peng Chun-Yen (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Wu Yue-Han (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC) ,  Chang Li (Department of Materials Science and Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan, ROC)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 437  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ波プラズマ化学蒸着(CVD)によるAu被覆およびNi被覆ダイヤモンド基板上の(111)配向ダイヤモンド膜のホモエピタキシャル成長を研究した。プロセスは,ダイヤモンド基板上の20nmAuとNi膜被覆の水素プラズマアニーリングにより形成されたAuとNi島上のCVDダイヤモンドの過成長に関係する。断面透過型電子顕微鏡(TEM)観察は,単一微結晶としてのAuとNi島の両方がダイヤモンド基板とのエピタキシーであり,ダイヤモンド成長がダイヤモンド堆積の初期段階においてそれらの島の上部に起こらないことを示した。金属島上のダイヤモンドの過成長は,金属被覆のない膜より低い欠陥密度を有する連続膜を形成する優れた合体をもたらした。このようなAuとNi島で,膜応力はRaman分光法で示すようにさらに緩和できる。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エピタクシー ,  微結晶 ,  焼なまし ,  *薄膜 ,  *ダイヤモンド ,  *金 ,  *ニッケル ,  *被覆 ,  膜応力 ,  メタライゼーション ,  Raman分光法 ,  欠陥密度
準シソーラス用語： *過成長 ,  *ダイヤモンド膜 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  水素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： ホモエピタキシャルダイヤモンド ,  ニッケル ,  金

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： Au ,  Ni ,  ダイヤモンド膜 ,  ホモ ,  エピタキシャル ,  過成長