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J-GLOBAL ID：202202270273780762   整理番号：22A0912419

ポリジメチルシロキサンマイクロチャネル内に閉込められたマイクロプラズマアレイの均一性に及ぼす印加電圧波形の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of applied voltage waveform on the uniformity of a microplasma array confined inside polydimethylsiloxane microchannels

著者 (6件)： Wu Shuqun (College of Automation Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, China) ,  Liu Xuhui (College of Automation Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, China) ,  Ouyang Fan (College of Automation Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, China) ,  Luo Yunxiang (College of Automation Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, China) ,  Guo Yue (College of Automation Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, China) ,  Zhang Chaohai (College of Automation Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, China)
資料名： Plasma Processes and Polymers  (Plasma Processes and Polymers)
巻： 19  号： 3  ページ： e2100164  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1950A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロプラズマアレイの均一性は,プラズマ処理によるポリジメチルシロキサン(PDMS)マイクロチャネルの内部表面の親水性を修正するのに不可欠である。本研究では,マイクロプラズマアレイの均一性に及ぼす印加電圧波形の影響を調べた。興味深いことに,AC(交流)電圧によって励起されたマイクロプラズマアレイは,デジタルカメラによってより”均一”に見えて,単極およびバイポーラパルス電圧によって励起されたものより,より高いガス温度および電子密度を有した。高速強化電荷結合素子カメラによるマイクロプラズマアレイのイメージングは,各マイクロチャネル内のマイクロプラズマの着火が空間分布において強いランダム性を持ち,着火する各マイクロチャネルの機会がほとんど等しいことを示した。詳細な分析は,AC電圧の場合の表面電荷の低密度と小さな過電圧が,PDMSマイクロチャネル内のマイクロプラズマ着火の確率的挙動に重要な役割を果たすと期待される。本研究はPDMSマイクロチャネルの表面改質のためのマイクロプラズマアレイの均一性の理解に有用である。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  *電圧 ,  電子密度 ,  過電圧 ,  親水性 ,  画像処理 ,  表面電荷 ,  交流電圧 ,  プラズマ処理 ,  CCDカメラ ,  *マイクロチャネル
準シソーラス用語： ディジタルカメラ ,  *電圧波形 ,  パルス電圧 ,  *マイクロプラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロプラズマ ,  PDMS ,  プラズマアレイ ,  均一プラズマ

分類 (2件)： 滅菌法  (EG02040C) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 均一性 ,  印加 ,  電圧波形