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J-GLOBAL ID：202202271061530119   整理番号：22A0901343

TiAlN被覆の耐酸化性,構造的および機械的挙動の機構的アプローチ【JST・京大機械翻訳】

A mechanistic approach of oxidation resistance, structural and mechanical behaviour of TiAlN coatings

著者 (6件)： Chavee Loris (Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 5000 Namur, Belgium) ,  Serag Essam (Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 5000 Namur, Belgium) ,  da Silva Pires Mathieu (Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 5000 Namur, Belgium) ,  Lucas Stephane (Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 5000 Namur, Belgium) ,  Lucas Stephane (Innovative Coating Solutions SA, Place Saint Pierre 11, 5380 Fernelemont, Belgium) ,  Haye Emile (Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 5000 Namur, Belgium)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 586  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti_xAl_1-xNは徹底的に研究されているが,Ti_xAl_1-xN被覆が構造の観点からどのようにアニールされ,これらの構造変化が酸化機構とリンクしているかは未だ不明である。本研究は,2重バイポーラマグネトロンスパッタリングにより堆積したTi_xAl_1-xN被覆(0.38Ω≦0.58)の化学的,構造的および機械的挙動を研究することにより,600°Cから800°Cまでの温度で長時間(最大16時間)にわたり,空気中および真空でアニールされた,Ti_xAl_1-xN被覆(0.38Ω≦0.58)の,このギャップを埋めることを目指した。X線光電子分光法は,酸化中のAl_2O_3/TiO_2二分子層の形成により,Al含有量を増加させると高温側へシフトする,以前に報告された結果を確認した。X線回折は,Alリッチ被膜がより低い焼鈍温度/持続時間でスピノーダル分解を受けるが,fcc-窒化チタンとfcc-AlNの安定化を伴うことを示した。Tiリッチ膜では,スピノーダル分解がより高いアニーリング温度/持続時間で起こるが,fcc-AlNのw-AlNへの急速な変態が起こり,それは機械的性質と熱安定性に有害である。本研究は,Ti_xAl_1-xNの酸化機構がプロセスおよび時間に依存しないことを示し,構造変化から独立して起こる。600°Cと800°CでのTi_xAl_1-xNの構造挙動と組み合わせた酸化機構を総括する2つの挙動マップを提案した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  機械的性質 ,  高温 ,  *酸化 ,  *被覆 ,  *耐酸化性 ,  スピノーダル分解 ,  窒化物 ,  チタン化合物 ,  皮膜 ,  *窒化アルミニウム ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： 窒化チタン ,  アニーリング温度 ,  *窒化チタンアルミニウム ,  構造変化 ,  酸化機構 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： TiAlN ,  バイポーラマグネトロンスパッタリング ,  酸化 ,  スピノーダル分解 ,  硬度

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (3件)： TiAlN ,  耐酸化性 ,  機械的挙動