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J-GLOBAL ID：202202271542554282   整理番号：22A0882163

いまさら聞けない分析機器 Part 2 2)走査型電子顕微鏡(SEM)の基本原理と実用例

著者 (1件)： 谷友樹 (日立ハイテク)
資料名： 化学と教育  (Chemistry & Education)
巻： 70  号： 3  ページ： 138-141  発行年： 2022年03月20日 
JST資料番号： G0942A  ISSN： 0386-2151  CODEN： KAKYEY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)は,ナノメートルからミリメートルオーダーの試料構造を観察できることから有機・無機材料,電子部品,半導体,エネルギー,ライフサイエンスなど幅広い分野の研究機関や開発の現場で活用されている。近年のSEMは,高性能化に加え操作性の向上や実用的な機能搭載によりますますその活用範囲を広げている。本稿ではSEMの基本原理からSEMで得られる情報,最新のSEM解析事例について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  電子 ,  反射電子回折 ,  固有X線 ,  電子銃 ,  対物レンズ ,  熱電子放出 ,  電界放出 ,  電子ビーム ,  焦点距離 ,  形態 ,  分布 ,  元素分析 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  *機器分析 ,  電子顕微鏡観察 ,  高分解能 ,  ナノ粒子 ,  微細構造
準シソーラス用語： 二次電子 ,  金属ナノ粒子 ,  組成分布 ,  電界放出電子顕微鏡法 ,  特性X線 ,  表面形状

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  分析機器  (CC02020S)

引用文献 (6件)：

• 1) 新・走査電子顕微鏡,日本顕微鏡学会関東支部 編,共立出版,2011.
• 2) 走査電子顕微鏡の基礎と応用,日本電子顕微鏡学会関東支部 編,共立出版,1983.
• 3) T. E. Everhtart, R. F. M. Thornley, J. Sci. Instrum. 1960, 37, 246.
• 4) A. V. Crewe, Rev. Sci. Instr. 1968, 39, 576.
• 5) H. Tamura, H. Kimura, J. Electron Microsc. 1968, 17 106.

タイトルに関連する用語 (4件)： 分析機器 ,  走査型電子顕微鏡 ,  SEM ,  原理