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J-GLOBAL ID：202202271709582444   整理番号：22A1018902

表面微小領域分析技術-1 極低加速電圧走査電子顕微鏡(ULV-SEM)による極表面・微細組織解析

Imaging and Elemental Analysis of Top Surface and Microstructure Using ULV-SEM

著者 (3件)： 中村貴也 (JFEテクノリサーチ) ,  佐藤馨 (JFEテクノリサーチ) ,  名越正泰 (JFEテクノリサーチ)
資料名： ふぇらむ  (日本鉄鋼協会会報)
巻： 27  号： 4  ページ： 199-205  発行年： 2022年04月01日 
JST資料番号： L2666A  ISSN： 1341-688X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・極低加速電圧でも高空間分解能観察が可能な電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)が登場し,筆者らは,極低加速電圧走査電子顕微鏡(ULV-SEM)が重要な情報を提供することを実証。
・本稿では,ULV-SEMおよびこれと最新のウィンドウレス型エネルギー分散型X線分光器(EDX)を組み合わせたULV-SEM-EDXの特徴,実材料の観察・分析事例を紹介。
・ULV-SEMの特徴として,極低加速電圧観察による電子線の拡散領域の減少,複数の検出器を用いた情報の分離,低加速電圧でのEDX分析を提示。
・適用事例として,CrMo鋼中微細析出物,酸化グラフェン,リチウムイオン電池正極材粒子表面の観察・分析例を紹介。

シソーラス用語： 微細構造 ,  *走査電子顕微鏡 ,  電界放出 ,  電圧 ,  *エネルギー分散X線分光分析 ,  空間分解能 ,  析出物 ,  グラファイト ,  酸化物 ,  電極材料 ,  リチウムイオン電池 ,  *顕微鏡観察
準シソーラス用語： 微細組織 ,  SEM【顕微鏡】 ,  FE-SEM ,  ULV-SEM ,  加速電圧 ,  EDX分析 ,  SEM-EDX ,  高空間分解能 ,  酸化グラファイト ,  正極材料

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (17件)：

• 佐藤馨:顕微鏡,50(2015)3,173.
• H.Jaksch and J.P.Martin : Freseniue J Anal. Chem., 353 (1995), 378.
• 立花繁明:顕微鏡,43(2008)3,174.
• 清水健一:表面技術,66(2015)12,568.
• 揚村寿英:ぶんせき,4(2020),119.

タイトルに関連する用語 (7件)： 微小領域 ,  分析技術 ,  加速電圧 ,  走査電子顕微鏡 ,  SEM ,  微細組織 ,  解析