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J-GLOBAL ID：202202272125070520   整理番号：22A1072972

Alウェッジワイヤボンディングにおける接合周波数とせん断強度との関係

Relationship between Bonding Frequency and Shear Strength in Aluminum Wedge Wire Bonding

著者 (3件)： 濱田賢祐 (超音波工業) ,  岩本知広 (茨城大 大学院) ,  石塚智也 (茨城大 大学院)
資料名： Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics  (Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics)
巻： 28th  ページ： 114-115  発行年： 2022年02月01日 
JST資料番号： L2496A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・パワーエレクトロニクス製品の配線接合工程にAlワイヤを用いたウェッジワイヤボンディング(WB)があり,その工法は,ワイヤを超音波振動させ,電極などの上で摺動させることにより配線を形成。
・AlワイヤのWBにおいて,接合周波数だけを変更してAlワイヤのせん断強度を比較した結果,接合周波数が高い方が強くなることが判明したが,その理由は不明。
・本研究では,接合周波数を110kHzと40kHzに設定し,接合時のワイヤ変形量を基準として,接合周波数とせん断強度との関係について検討。
・接合周波数差によるせん断強度の差は,接合初期から金属板とワイヤとの接合が進んだことに起因すると推定。

シソーラス用語： パワーエレクトロニクス ,  配線 ,  *アルミニウム ,  金属線 ,  *ワイヤボンディング ,  超音波振動 ,  超音波溶接 ,  *剪断強さ ,  周波数依存性 ,  塑性変形 ,  金属板
準シソーラス用語： ウェッジワイヤボンディング ,  超音波接合 ,  剪断強度

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  溶接技術  (WC07030G)

引用文献 (2件)：

• 梶原良一,岩渕明,清水友治,“振動周波数70,130,172kHzの超音波ボールボンディング”,溶接学会論文集 第15巻第1号,(1997),pp.161-167.
• 荒木隆,関勲,三輪孝志,大塚寛治,“高周波ワイヤボンディング技術”,超音波TECHNO Vol.6 No.7,(1994),pp.30-35.

タイトルに関連する用語 (4件)： Al ,  ウェッジ ,  ワイヤボンディング ,  せん断強度