抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・クリーンルーム用空調システムである三機工業社のサイドフローDOUPシステムを紹介。
・ファンフィルタユニットを天井高さが低いクリーンルームにも設置可能なよう天井内にサイドフロー型に設置し,吹出しをオペレーションエリア直上として同エリアを重点的に清浄化。
・ボールルーム式と同等の清浄度が達成されるとともに,オペレーションエリアでの空調停止状態からの清浄度回復が早いという特長。