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J-GLOBAL ID：202202274324828922   整理番号：22A0788507

容量性微細加工超音波変換器によるバルク音響波ベースMocr流体粒子選別【JST・京大機械翻訳】

Bulk Acoustic Wave Based Mocrfluidic Particle Sorting with Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers

著者 (5件)： Kawasaki Shinnosuke (Delft University of Technology,NETHERLANDS) ,  Yeh Jia-Jun (Delft University of Technology,NETHERLANDS) ,  Saccher Marta (Delft University of Technology,NETHERLANDS) ,  Li Jian (Delft University of Technology,NETHERLANDS) ,  Dekker Ronald (Philips Research,NETHERLANDS)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022  号： MEMS  ページ： 908-911  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ流体応用のための音響粒子分離の主な限界は,その低いソーティング効率である。これは,マイクロチャネルへの表面音響波(SAW)の弱い結合による。本研究では,容量マイクロマシン超音波変換器(CMUT)を用いたバルク音響波(BAW)粒子ソーティングを初めて実証した。崩壊モードCMUTを空気中で駆動し,シリコンダイの面内方向にシリコン基板内の音響圧力を発生させた。この音圧を水滴に結合させ,CMUTダイの側面に位置し,光ハイドロホンで測定した。ビームステアリング法を用いて,32のCMUT要素から発生した超音波を,0.9MPaの最大ピーク対ピーク圧力を生成するために,同相に加えた。この圧力を用いて,10μmラテックスビーズをほぼ瞬時に分類した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *超音波 ,  水滴 ,  *音響 ,  ケイ素 ,  *超音波変換器 ,  弾性表面波 ,  ハイドロホン ,  ソーティング ,  音圧 ,  *微細加工 ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： ビームステアリング ,  マイクロ流体 ,  *バルク音響波 ,  CMUT , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 容量性 ,  微細加工 ,  超音波変換器 ,  バルク音響波 ,  流体 ,  粒子選別