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J-GLOBAL ID：202202274339890014   整理番号：22A0909033

インジウムすず酸化物の構造依存光学非線形性【JST・京大機械翻訳】

Structure-dependent optical nonlinearity of indium tin oxide

著者 (3件)： Britton Wesley A. (Division of Materials Science & Engineering, Boston University, 15 Saint Mary’s Street, Brookline, Massachusetts 02246, USA) ,  Sgrignuoli Fabrizio (Department of Electrical & Computer Engineering and Photonics Center, Boston University, 8 Saint Mary’s Street, Boston, Massachusetts 02215, USA) ,  Dal Negro Luca (Division of Materials Science & Engineering, Boston University, 15 Saint Mary’s Street, Brookline, Massachusetts 02246, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 120  号： 10  ページ： 101901-101901-5  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 構造的性質を改変し,ENZ波長のまわりの三次光非線形応答を増強するために,θ-近-ゼロ(ENZ)インジウムスズ酸化物(ITO)ナノ層の堆積後真空アニーリングを用いた。室温マグネトロンスパッタリング堆積は,固有引張歪と<110>繊維軸が基板に対して優先的に配向した多結晶薄膜をもたらすことを見出した。さらに,堆積後真空アニーリング処理は,焼鈍温度と共に増加する圧縮歪によって特性化される二次異方性相を生成することを示した。最後に,Z走査光学技術を用いて,複雑な非線形感受率χ(3)と強度依存性屈折率変化Δnを,類似のENZ波長を特徴とするにもかかわらず,異なる構造特性を有するサンプルに対して,正確に測定した。強度依存分析は,光学非線形性の増強が,χ_R(3)=(5.2±0.3)×10-17m2/V2の大きな値を持つENZナノ層の構造を調整することにより達成できることを示した。本研究は,スケーラブルシリコンフォトニクスプラットフォームと互換性のある統合高非線形デバイスとメタマテリアルの工学のためのENZ光分散特性を有するITOナノ層における構造制御と二次相形成の重要性を明らかにした。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 焼なまし ,  *非線形光学 ,  互換性 ,  *インジウム ,  マグネトロン ,  波長 ,  *酸化スズ ,  非線形感受率 ,  室温 ,  スパッタ蒸着
準シソーラス用語： 圧縮歪 ,  ナノ薄膜 ,  メタマテリアル ,  引張歪 ,  多結晶薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  非線形光学  (BD05000T)

タイトルに関連する用語 (2件)： インジウムすず酸化物 ,  光学非線形性