文献

J-GLOBAL ID：202202275437378203   整理番号：22A0419091

原料間歇供給を伴うタンデム型変調誘導熱プラズマを用いたSiナノ粒子生成時における原料供給時間の影響

Influence of Feedstock Feeding Duration on Si Nanoparticle Synthesis Using Tandem Modulated Induction Thermal Plasmas with Intermittent Feedstock Feeding.

著者 (9件)： 長瀬有理奈 (金沢大) ,  古川颯大 (金沢大) ,  不破知哉 (金沢大) ,  田中康規 (金沢大) ,  中野裕介 (金沢大) ,  石島達夫 (金沢大) ,  末安志織 (日清製粉グループ本社) ,  渡邉周 (日清製粉グループ本社) ,  中村圭太郎 (日清製粉グループ本社)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： DEI-22-001-020/EPP-22-001-020/HV-22-026-045 誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧研究会 (冊子)  ページ： 91-96  発行年： 2022年01月18日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,原料間歇導入(TCFF)とともにタンデム変調型誘導熱プラズマ(タンデム-MITP)を用いて生成した合成ナノ粒子のサイズと組成に及ぼす原料供給時間の影響を実験的および数値的に研究した。このタンデムMITP+TCFF法は,ナノ粒子の高速生成のために著者のグループによって独自に開発された。タンデムMITPは,1トーチの周りに二つのコイルを設けて長い高変調・高温度場を生成する一方で,TCFFはMITPに原料間歇供給を提供する。このタンデムMITP+TCFF法は,On-time時の原料の高効率蒸発とOff-time時の高効率核形成が確認された。さらに,変調サイクルにおける原料供給時間も生成割合を決定する重要因子であった。その結果,原料供給の40% Duty Factorが小さなナノ粒子で高い生成割合が得られることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *熱プラズマ ,  数値解析 ,  *ナノ粒子 ,  密度 ,  温度分布 ,  温度 ,  密度分布 ,  粒子生成 ,  運動論的方程式 ,  境界要素法 ,  インダクタ
準シソーラス用語： *誘導熱プラズマ ,  *シリコンナノ粒子 ,  粒子密度 ,  ガス温度 ,  動力学方程式 ,  モーメント法【電磁気解析】

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (11件)：

• X. H. Liu, et al., ACS Nano, 6, 1522-1531 (2012)
• Girshick S L, Chiu C -P and McMurry P H, Aerosol Sci. Tech., 13, 465-77, (1990)
• K. Kuraishi, et al., J. Phys. Conf. Ser., 441, 012016 (2013).
• N.Kodama, et al., J. Phys. D: Appl. Phys., 47, 195304 (2014).
• N.Kodama, et al., Plasma Sources Sci. & Technol., 26, 075008 (2017).

タイトルに関連する用語 (8件)： 原料 ,  間歇 ,  タンデム ,  変調 ,  誘導熱プラズマ ,  Si ,  粒子生成 ,  原料供給