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J-GLOBAL ID：202202275538836259   整理番号：22A0948531

前駆体最適化インジウム-ガリウム亜鉛オキシド薄膜の光学バンドギャップと光ルミネセンス研究【JST・京大機械翻訳】

Optical band gap and photoluminescence studies of precursor optimized Indium-Gallium Zinc oxide thin films

著者 (6件)： Ganesh V.N (Department of Electronics and Communication Engineering, Mangalore Institute of Technology & Engineering (MITE), Moodabidri 574225, India) ,  Kavya D. (Department of PG Studies in Physics, Alva’s College, Moodbidri, Karnataka 574227, India) ,  Jayarama A. (Department of Physics, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodbidri, Karnataka 574225, India) ,  Bhat Shashidhara (Department of PG Studies in Physics, Alva’s College, Moodbidri, Karnataka 574227, India) ,  Shantharama Rai C (Department of Electronics and Communication Engineering, AJ Institute of Engineering and Technology, Mangalore, Karnataka 575006, India) ,  Pinto Richard (Department of Electronics and Communication Engineering, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodbidri 574225, India)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 55  号： P1  ページ： 160-165  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 400°Cの最適基板温度でのスプレー熱分解は,ガラス基板上に純およびインジウム-ガリウムドープ酸化亜鉛の薄層を生成した。前駆体溶液の成長において,酢酸アンモニウムを安定化剤として使用した。六方晶形状の結晶構造を有する多結晶膜をすべての場合で堆積した。インジウムとガリウムドープ酸化亜鉛薄膜の光学バンドギャップと光ルミネセンス挙動を調べた。粉末X線回折研究は,堆積した薄膜が(002)配向を有する六方晶結晶構造を有する多結晶構造であることを示した。可視波長域では,全ての薄膜は,約85%の透過率と約375nmの強い吸収開始を有し,これは,インジウム-ガリウムドープZnOの3.3eVの基本吸収端に対応する。UV-Vis-NIRの結果は,Taucプロットと共に,エネルギーギャップがインジウム-ガリウムドーピング濃度の増加と共に減少することを示した。光ルミネセンスの結果は,種々の濃度におけるインジウム-ガリウムドーパントの効果が,膜中の欠陥化学において,重要な役割を果たすことを示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 基板 ,  結晶構造 ,  *最適化 ,  熱分解 ,  *薄膜 ,  *光ルミネセンス ,  *インジウム ,  酸化亜鉛 ,  安定剤 ,  多結晶 ,  六方晶系 ,  透過率 ,  *前駆体 ,  吸収端 ,  *光学ギャップ
準シソーラス用語： スプレー熱分解 ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： a-IGZO薄膜 ,  噴霧熱分解 ,  光ルミネセンス ,  酸化亜鉛

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (10件)： 前駆体 ,  最適化 ,  インジウム ,  ガリウム ,  亜鉛 ,  オキシド ,  薄膜 ,  光学バンドギャップ ,  光ルミネセンス ,  研究