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J-GLOBAL ID：202202275607482410   整理番号：22A0311068

Ar-C_2H_2混合ガスのrf放電における環状粒子成長過程の観察とキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】

Observation and Characterization of Cyclic Particle Growth Process in rf Discharge of Ar-C₂H₂ Gas Mixture

著者 (3件)： Chutia Bidyut (Dusty Plasma Laboratory, Physical Sciences Division, Institute of Advanced Study in Science and Technology (IASST), Guwahati, Assam, India) ,  Sharma S. K. (Dusty Plasma Laboratory, Physical Sciences Division, Institute of Advanced Study in Science and Technology (IASST), Guwahati, Assam, India) ,  Bailung H. (Dusty Plasma Laboratory, Physical Sciences Division, Institute of Advanced Study in Science and Technology (IASST), Guwahati, Assam, India)
資料名： Springer Proceedings in Physics  (Springer Proceedings in Physics)
巻： 265  ページ： 235-241  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5066A  ISSN： 0930-8989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性ガス放電におけるナノメートルサイズの粒子のin situ成長を,新たに開発した実験装置で研究した。C_2H_2流を80分間保持したとき,Argon(Ar)とアセチレン(C_2H_2)混合物の容量結合rf放電において,4サイクルまでの炭素質ダスト粒子の成長過程の反復を観測した。成長過程における観測された周期性を,粒子雲からの放電パラメータと散乱光強度を測定して確認した。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Singapore Pte Ltd. 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 気体放電 ,  *混合気体 ,  プラズマ ,  *放電 ,  *成長 ,  塵埃 ,  粒子 ,  *成長段階 ,  キャラクタリゼーション ,  散乱光 ,  4サイクル
準シソーラス用語： 周期性 ,  *粒子成長 ,  容量結合 ,  反応性プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 反応性プラズマ ,  粒子成長 ,  環状成長 ,  炭素質ダスト

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ一般  (BJ02010B) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (8件)： Ar ,  混合ガス ,  RF放電 ,  環状 ,  粒子成長 ,  過程 ,  観察 ,  キャラクタリゼーション