文献

J-GLOBAL ID：202202275629730235   整理番号：22A0854876

fcc Cu-Mn-Si合金の拡散係数と原子移動度:CALTPPプログラムによる測定とモデリング【JST・京大機械翻訳】

Diffusivity and atomic mobility in fcc Cu-Mn-Si alloys: measurements and modeling by CALTPP program

著者 (9件)： Liu Huixin (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha, China) ,  Liu Yuling (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha, China) ,  Du Changfa (School of Mathematics and Statistics, Central South University, Changsha, Hunan, China) ,  Du Yong (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha, China) ,  Zheng Zhoushun (School of Mathematics and Statistics, Central South University, Changsha, Hunan, China) ,  Liu Shuhong (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha, China) ,  Premovic Milena (Faculty of Technical Science, University of Prishtina, Kosovska Mitrovica, Serbia) ,  Hu Jieqiong (Sino-Precious Metals Holding Co., Ltd., Kunming, China) ,  Xie Ming (Sino-Precious Metals Holding Co., Ltd., Kunming, China)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 57  号： 8  ページ： 5241-5257  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： fcc Cu-Mn-Si合金の正確な拡散率と原子移動度パラメータは,マイクロエレクトロニクス集積回路におけるCu相互接続とSi系誘電体の間のMn障壁層の成長挙動を理解するために不可欠である。923,1023および1123Kにおけるfcc Cu-Mn-Si合金の合計12の拡散対を調製し,それらの組成プロファイルをEPMA法により決定した。組成プロファイルをCALTPPプログラムに入力し,Matano-Kirkaldy法(バージョン1)と数値逆アプローチ(バージョン2)により相互拡散行列を抽出した。次に,対応する原子移動度を,これら2種類の拡散率に基づいてそれぞれ評価した。原子移動度パラメータのこれらの2つのバージョンの品質を,モデル予測と測定値の間の拡散挙動を比較することにより調べた。本研究では,バージョン2の原子移動度を,組成プロファイルとのそれらのより良い整合性を考慮して推奨した。fcc Cu-Mn-Si合金の3次元主相互拡散係数,活性化エネルギー及び周波数因子面を構築し,組成及び温度依存性拡散特性を表示した。本研究で得られた信頼できる原子移動度パラメータは,多成分Cu合金の計算設計のための重要な入力である。Copyright The Author(s), under exclusive licence to Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *移動度 ,  *拡散 ,  *拡散係数 ,  活性化エネルギー ,  *合金 ,  集積回路 ,  相互拡散 ,  誘電体 ,  *ケイ素 ,  *銅 ,  *マンガン ,  銅合金 ,  温度依存性 ,  拡散対 ,  三次元
準シソーラス用語： *原子移動度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 金属中の拡散  (BL06022C) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (7件)： FCC ,  Cu ,  Mn ,  Si合金 ,  拡散係数 ,  原子移動度 ,  モデリング