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J-GLOBAL ID：202202276045602200   整理番号：22A0794540

β-Ga_2O_3結晶成長における種輸送とメルト化学量論の数値モデル【JST・京大機械翻訳】

Numerical model of species transport and melt stoichiometry in β-Ga₂O₃ crystal growth

著者 (5件)： Vorob’ev Andrei (STR Group, Inc. - Soft-Impact, Ltd., St. Petersburg, Russian Federation) ,  Galyukov Alex (STR US, Inc., Richmond, VA, United States) ,  Smirnov Andrey (STR Group, Inc. - Soft-Impact, Ltd., St. Petersburg, Russian Federation) ,  Zimina Daria (STR US, Inc., Richmond, VA, United States) ,  Kalaev Vladimir (STR Group, Inc. - Soft-Impact, Ltd., St. Petersburg, Russian Federation)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 583  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,溶融化学量論の損失の原因となるプロセスを記述するコンピュータモデル,すなわち,酸化ガリウムメルトのガリウムおよび酸素イオンへの解離,自由表面からガス雰囲気へのメルト成分の独立した蒸発,およびメルト化学量論の損失について述べた。物質移動モデルを熱伝達とメルトとガス流の計算と結合させた。また,成長雰囲気に加えたCO_2の効果も取り込んだ。モデル操作は,種々の量の添加CO_2によるCzochralski法による2インチβ-Ga_2O_3結晶成長プロセスに対して実証され,ガス混合物への二酸化炭素の添加によるメルト非化学量論の予測減少を予測した。溶融化学量論に及ぼすそれらの効果に関して,ホットゾーン設計の幾つかの修正を考察した。溶融自由表面の面積は,酸素の損失を補償するのに必要なCO_2の量に対して最も顕著で非線形の影響を有することが分かった。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *結晶成長 ,  物質移動 ,  熱伝達 ,  融解 ,  計算機シミュレーション ,  ガリウム ,  酸素 ,  二酸化炭素 ,  気体流 ,  *化学量論 ,  酸化ガリウム ,  Czochralski法 ,  非化学量論 ,  *メルト
準シソーラス用語： 酸素イオン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： A1.計算機シミュレーション ,  CGSim ,  溶融化学量論 ,  動的大気 ,  CO_2 ,  A_2.Czochralski法

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 結晶成長 ,  種 ,  輸送 ,  メルト ,  化学量論 ,  数値モデル