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J-GLOBAL ID：202202278820144325   整理番号：22A1066162

ZnO/TiO_2ナノラミネートと混合ZnO/TiO_2ナノ構造膜の成長のためのコンビナトリアルALD【JST・京大機械翻訳】

Combinatorial ALD for the growth of ZnO/TiO₂ nanolaminates and mixed ZnO/TiO₂ nanostructured films

著者 (8件)： Doyle Shona (Tyndall National Institute, University College Cork, Cork, Ireland. [e-mail]) ,  Ryan Louise ,  McCarthy Melissa M. ,  Modreanu Mircea ,  Schmidt Michael ,  Laffir Fathima ,  Povey Ian M. ,  Pemble Martyn E.
資料名： Materials Advances  (Materials Advances)
巻： 3  号： 6  ページ： 2896-2907  発行年： 2022年 
JST資料番号： W6469A  ISSN： 2633-5409  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,コンビナトリアル原子層堆積(C-ALD)を用いて,酸化物被覆Si(100)ウエハとガラス基板上に層状ZnOとTiO_2ナノラミネートを堆積し,得られたナノラミネートの構造と色素分解に対する光活性に及ぼす基板と各層の影響を評価した。さらに,これらの層状構造との比較のために,C-ALDを用いて,完全なC-ALDサイクルごとに各酸化物のサブ単分子層量を堆積するために,アンダードースの概念を用いて,Zn2+とTi4+イオンのほぼ等しい混合物からなる酸化物膜を直接作製した。核形成遅延は,基板に直接析出したZnOと,その後のTiO_2層,後者はより少ない程度に観測された。核形成遅延の違いの原因は,異種表面基による。意図的に積層した構造では,ZnOは,両方の基板タイプでその後成長したTiO_2層に対してテンプレート影響を持つように見えた。XRD分析は,ZnO膜の多結晶性を示す(002)の強い優先配向を示した。XRDの結果は,結晶TiO_2がガラス基板上にのみ同定されたので,層成長が基板に依存することを示唆した。ナノ積層構造は,混合ZnO:TiO_2(1:1:1)と比較して,400°Cで1時間のアニーリング後に,層構造が無傷のままであった。1)ZnO偏析と結晶化の証拠を示した。光触媒活性に関しては,混合またはナノ積層膜における光活性のいかなる増強に対しても証拠が見出されず,ガラス基板上に堆積したZnOから成る最も光活性の膜であった。Copyright 2022 Royal Society of Chemistry All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  核形成 ,  結晶化 ,  焼なまし ,  偏析 ,  単分子層 ,  *酸化亜鉛 ,  色素 ,  多結晶 ,  電気装置部品 ,  ウエハ【IC】 ,  多層膜 ,  優先配向 ,  *ナノ構造
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  光触媒活性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnO ,  ナノラミネート ,  ナノ構造 ,  成長 ,  ALD