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J-GLOBAL ID：202202279431732916   整理番号：22A0681195

マグネトロンスパッタ炭化チタンベース被覆:科学と技術のレビュー【JST・京大機械翻訳】

Magnetron sputtered titanium carbide-based coatings: A review of science and technology

著者 (5件)： Larhlimi Hicham (Materials Science, Energy and Nano-engineering Department, Mohammed VI Polytechnic University (UM6P), Lot 660, Hay Moulay Rachid, 43150, Benguerir, Morocco) ,  Ghailane Anas (Materials Science, Energy and Nano-engineering Department, Mohammed VI Polytechnic University (UM6P), Lot 660, Hay Moulay Rachid, 43150, Benguerir, Morocco) ,  Ghailane Anas (Department of Physics, University Koblenz-Landau, 56070, Koblenz, Germany) ,  Makha Mohammed (Materials Science, Energy and Nano-engineering Department, Mohammed VI Polytechnic University (UM6P), Lot 660, Hay Moulay Rachid, 43150, Benguerir, Morocco) ,  Alami Jones (Materials Science, Energy and Nano-engineering Department, Mohammed VI Polytechnic University (UM6P), Lot 660, Hay Moulay Rachid, 43150, Benguerir, Morocco)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 197  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭化チタン(TiC)被覆は,工具とトライボロジー応用を含むいくつかの工業用途に広く使用されている。これらの材料は,それらの機械的,トライボロジーおよび耐摩耗性特性,および化学的不活性により使用される。硬質TiC被覆は,通常,1000°Cの範囲の温度で化学蒸着技術を用いて堆積し,温度感受性基板材料への応用を制限する。したがって,プラズマ増強化学蒸着を代替堆積技術として利用し,500°Cの低い温度で良好な被覆性能を示した。最近の技術開発は,周囲温度で高品質TiC被覆を堆積する有望なアプローチとして高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)の出現を見せ,新しい基板材料と新しい応用を可能にする。本論文は,それらの構造的,機械的,およびトライボロジー特性に重点を置いて,マグネトロンスパッタTiCベースコーティングを紹介する。ここ数十年にわたる二元および三元TiCベース被覆の開発に対する最も関連する技術的手法の概要を示した。堆積パラメータと最終被覆特性の間の関係を強調し,議論した。三元TiCベース系へのステーリングは被覆特性を改善することを示した。この光において,いくつかの化学元素を用いて,準安定固溶体,二成分および/または三元相,あるいは混合物を含む種々の被覆構造の形成をもたらした。第三元素添加の利点を議論し,被覆特性への影響を強調した。最後に,潜在的な応用の新しい展望を示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度 ,  固溶体 ,  耐摩耗性 ,  特性 ,  *被覆 ,  トライボロジー ,  化学蒸着 ,  *炭化チタン ,  性質 ,  マグネトロンスパッタリング ,  硬質 ,  プラズマCVD ,  温度感受性
準シソーラス用語： 基板材料 ,  高品質 ,  トライボロジー特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 炭化チタン ,  三元複合材料 ,  ナノ複合材料 ,  マグネトロンスパッタリング ,  高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： マグネトロンスパッタ ,  炭化チタン ,  科学 ,  レビュー