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J-GLOBAL ID：202202279476348632   整理番号：22A0497389

水熱法によるLiドープZnOナノロッドに基づく湿度センサの研究【JST・京大機械翻訳】

The study of humidity sensor based on Li-doped ZnO nanorods by hydrothermal method

著者 (3件)： Chou Chun-Chi (Department of Resources Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan) ,  Shih Li-Hsing (Department of Resources Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan) ,  Chang Shoou-Jinn (Institute of Microelectronics and Department of Electrical Engineering, Center for Micro/Nano Science and Technology, Advanced Optoelectronic Technology Center, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 28  号： 1  ページ： 423-427  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,水熱法によるガラス基板上の一次元LiドープZnOナノロッド(NR)とLiドープZnO NR湿度センサの作製について報告する。成長したままのLiドープZnO NRはウルツ鉱型構造で構造的に均一であることが分かった。相対湿度(RH)効果因子は,ナノ構造を有する湿度センサの紫外線(UV)照射に依存することを見出した。UV照射の間,暗電流コントラスト比に対する光電流は,5.0Vの印加バイアスで,それぞれ30と80%のRHで測定したとき,約17.6と14.5であった。多量の酸素/水の競合表面効果は,異なる相対湿度条件下でのUV光検出器の観察された変化を説明する。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光電流 ,  紫外線 ,  *水熱合成 ,  相対湿度 ,  酸素 ,  *リチウム ,  紫外線照射 ,  *酸化亜鉛 ,  *ドーピング ,  暗電流 ,  一次元 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： ウルツ鉱型構造 ,  ガラス基板 ,  *酸化亜鉛ナノロッド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水熱法 ,  Li ,  ドープ ,  ZnOナノロッド ,  湿度センサ ,  研究