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J-GLOBAL ID：202202281784706015   整理番号：22A0099882

Ceドープ窒化チタン膜の微細構造,機械的性質および腐食挙動【JST・京大機械翻訳】

Microstructure, mechanical properties and corrosion behavior of Ce doped TiN films

著者 (6件)： Fan Lei (Key Laboratory of Semiconductor Photovoltaic Technology of Inner Mongolia Autonomous Region, School of Physical Science and Technology, Inner Mongolia University, 235 West Daxue Street, Hohhot 010021, China) ,  Liu Ming (Key Laboratory of Semiconductor Photovoltaic Technology of Inner Mongolia Autonomous Region, School of Physical Science and Technology, Inner Mongolia University, 235 West Daxue Street, Hohhot 010021, China) ,  Wang Yanlai (Key Laboratory of Semiconductor Photovoltaic Technology of Inner Mongolia Autonomous Region, School of Physical Science and Technology, Inner Mongolia University, 235 West Daxue Street, Hohhot 010021, China) ,  Cui Hongbing (State Key Laboratory of Baiyunobo Rare Earth Resource Researches and Comprehensive Utilization, Baotou Research Institute of Rare Earths, Baotou 014030, China) ,  Ren Xudong (State Key Laboratory of Baiyunobo Rare Earth Resource Researches and Comprehensive Utilization, Baotou Research Institute of Rare Earths, Baotou 014030, China) ,  Xin Bo (State Key Laboratory of Baiyunobo Rare Earth Resource Researches and Comprehensive Utilization, Baotou Research Institute of Rare Earths, Baotou 014030, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 575  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のCe含有量(1.91,5.75,7.95,9.16,14.19at.%)を有するCeドープ窒化チタン(Ti-Ce-N)膜を,TiおよびCe供給者として,それぞれTiおよびCeターゲットを用いて,反応性マグネトロン共スパッタリング法によって調製した。微細構造観察の結果,Ce含有量が1.91から9.16at.%のTi-Ce-N膜は単一面心立方構造を示し,Ce含有量が14.19at%の膜は非晶質構造に変態した。Ti-Ce-N膜中のTi原子に対するCe原子の置換は,セル体積と結晶粒微細化の増加をもたらす。機械的性質の測定結果は,Ti-Ce-N膜の硬度と弾性率が,溶液強化と微細粒強化のため,Ce含有量が1.91から9.16at%に増加するにつれて増加することを示した。分極曲線と電気化学インピーダンス分光法は,窒化チタン膜の耐食性が,非ドープ窒化チタン膜と比較して,9.16at.%と14.19at.%のCeドーピング含有量で明らかに改善されることを示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *機械的性質 ,  弾性係数 ,  *セリウム ,  *チタン ,  耐食性 ,  *窒化 ,  マグネトロン ,  *ドーピング ,  結晶粒微細化
準シソーラス用語： 分極曲線 ,  FCC構造 ,  電気化学インピーダンス分光法 ,  *腐食挙動 ,  非晶質構造 ,  同時スパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Ti-Ce-N膜 ,  マグネトロン共スパッタリング ,  機械的性質 ,  耐食性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ce ,  ドープ ,  窒化 ,  チタン膜 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  腐食挙動