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J-GLOBAL ID：202202283958561537   整理番号：22A0285312

半導体プロセスで活躍する計測技術・機器 耐食性材料“MAT 21”適用マスフローコントローラ

Mass Flow Controller using corrosion resistant material “MAT 21”

著者 (1件)： 板谷真明 (日立金属ファインテック)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 50  号： 1  ページ： 16-19  発行年： 2022年01月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本稿は,接ガス部分の腐食についてマスフローコントローラ(MFC)へ与える影響と現在の腐食対策さらにその解決策となる当社開発耐食性合金の紹介。
・生産歩留まり向上のために用いられる固相不純物(パーティクル)や腐食がMFCの性能に及ぼす影響について流量計測部分およびバルブ部分に分けて解説。
・MFCの接ガス部に用いる金属材(SUS316Lなど)や表面処理などについて解説。
・MFCへ適用する当社開発MAT21の耐食性試験結果の紹介および耐久性など機械特性。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  耐食性金属 ,  *制御装置 ,  *流量制御 ,  計測器 ,  弁 ,  表面処理 ,  ニッケル合金 ,  クロム含有合金 ,  モリブデン含有合金 ,  タンタル含有合金 ,  腐食試験 ,  機械的性質 ,  耐食性
準シソーラス用語： マスフローコントローラ

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体プロセス ,  計測技術 ,  耐食性 ,  マスフローコントローラ