抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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マイクロ電気機械システム(MEMS)の最先端の破壊力学のレビューを示した。破壊靱性,疲れ亀裂成長,および応力腐食のための実験データについて批判的にレビューし,将来の研究のために推薦を行った。同様の議論を理論的破壊力学モデルに対して提供した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】