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J-GLOBAL ID:202202285108253020   整理番号:22A1034538

微小電気機械システムの破壊力学【JST・京大機械翻訳】

The Fracture Mechanics of Microelectromechanical Systems
著者 (1件):
資料名:
号: IMECE98  ページ: 185  発行年: 2022年 
JST資料番号: A0478C  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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マイクロ電気機械システム(MEMS)の最先端の破壊力学のレビューを示した。破壊靱性,疲れ亀裂成長,および応力腐食のための実験データについて批判的にレビューし,将来の研究のために推薦を行った。同様の議論を理論的破壊力学モデルに対して提供した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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金属材料 
タイトルに関連する用語 (2件):
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