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J-GLOBAL ID：202202285231967688   整理番号：22A0901241

AlNセラミック上のナノ秒レーザ誘起配向周期構造【JST・京大機械翻訳】

Nanosecond laser-induced oriented periodic structures on AlN ceramic

著者 (10件)： Nedyalkov N. (Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, 72, Tsarigradsko Chaussee blvd, 1784, Sofia, Bulgaria) ,  Dikovska A. (Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, 72, Tsarigradsko Chaussee blvd, 1784, Sofia, Bulgaria) ,  Nikov R. (Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, 72, Tsarigradsko Chaussee blvd, 1784, Sofia, Bulgaria) ,  Nikov Ro. (Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, 72, Tsarigradsko Chaussee blvd, 1784, Sofia, Bulgaria) ,  Dliova T. (Institute of General and Inorganic Chemistry, Bulgarian Academy of Sciences, bld. 11, Acad. Georgi Bonchev str, 1113, Sofia, Bulgaria) ,  Atanasova G. (Institute of General and Inorganic Chemistry, Bulgarian Academy of Sciences, bld. 11, Acad. Georgi Bonchev str, 1113, Sofia, Bulgaria) ,  Aleksandrov L. (Institute of General and Inorganic Chemistry, Bulgarian Academy of Sciences, bld. 11, Acad. Georgi Bonchev str, 1113, Sofia, Bulgaria) ,  Karashanova D. (Institute of Optical Materials and Technologies “Acad. J. Malinowski”, Bulgarian Academy of Sciences, Acad. G. Bonchev str., bl. 109, 1113 Sofia, Bulgaria) ,  Strijkova V. (Institute of Optical Materials and Technologies “Acad. J. Malinowski”, Bulgarian Academy of Sciences, Acad. G. Bonchev str., bl. 109, 1113 Sofia, Bulgaria) ,  Terakawa M. (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 585  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlNセラミックのナノ秒レーザ誘起表面構造化に関する結果を示した。Nd:YAGレーザシステムの基本波長を用いて,研究中のプロセスを実行した。大気1から10-4Torrまでの周囲空気圧力の変化により,入射照射波長の周期性を持つリップル構造から10~15μmの範囲の特性周期を持つ配向周期的微細構造への表面形態の修正がもたらされることを示した。周期構造が形成される場合,入射照射偏光に垂直な明確な配向を観測した。最低圧力条件で形成された配向周期的微細構造(OPMS)の特性を,それらの特性に及ぼす加工条件の影響を示すため,より詳細に研究した。OPMSの形成は,最小レーザパルス数および特定の閾値以上のレーザフルエンスの適用を必要とすることが分かった。作製された構造の表面は導電性であり,その効果は加工領域におけるアルミニウムの存在に関連することを示した。これらの構造の形成の可能な機構を考察した。532と266nmでの照射を用いたアブレーション実験も報告し,議論した。提示した結果は,AlNセラミックスのレーザ加工を考慮した場合,またマイクロエレクトロニクス,トライボロジー,およびアルミニウムベースのUVプラズモニクスにおける有望な用途を有する構造の設計に対して,重要な影響を与える可能性がある。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *セラミック ,  表面構造 ,  偏光 ,  レーザ加工 ,  アルミニウム ,  波長 ,  レーザパルス ,  トライボロジー ,  *窒化アルミニウム ,  アブレーション ,  マイクロエレクトロニクス ,  フルエンス ,  導電性
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  *レーザ誘起 ,  プラズモニクス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： セラミックスのレーザ構造化 ,  配向した周期的微細構造形成 ,  AlN分解

分類 (3件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： AlN ,  セラミック ,  ナノ秒レーザ ,  誘起 ,  配向 ,  周期構造