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J-GLOBAL ID：202202285594028328   整理番号：22A0977419

反射共鳴マイクロストリップ線路法を用いた薄膜の誘電率測定【JST・京大機械翻訳】

Dielectric Constant Determination for Thin Film by Using Reflection Resonance Microstrip Line Method

著者 (6件)： Zhou Delun (Beijing National Research Center for Information Science and Technology (BNRist), School of Integrated Circuits, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhang Yong (Beijing National Research Center for Information Science and Technology (BNRist), School of Integrated Circuits, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Shi Shengqi (Beijing National Research Center for Information Science and Technology (BNRist), School of Integrated Circuits, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhang Jinyu (Beijing National Research Center for Information Science and Technology (BNRist), School of Integrated Circuits, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Yue Ruifeng (Beijing National Research Center for Information Science and Technology (BNRist), School of Integrated Circuits, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Wang Yan (Beijing National Research Center for Information Science and Technology (BNRist), School of Integrated Circuits, Tsinghua University, Beijing, China)
資料名： IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation  (IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation)
巻： 29  号： 1  ページ： 15-21  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0578A  ISSN： 1070-9878  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,基板材料の誘電率を測定するためのマイクロストリップリング共振器の使用を調べた。著者らのシミュレーションと実験は,誘電体厚さが数十ミクロンの小さいとき,電磁(EM)波が従来のマイクロストリップリングで再送信できないことを示した。代わりに,それは,リングの幾何学的サイズと形状に無関係に,送信端でマイクロストリップ線路に共振する。共鳴の新しいモードを実証するために,GLC等価回路を構築し,マイクロストリップリング共振器を金属マイクロストリップとして銅を用いて実装した。数ミクロンの厚さを有するベンゾシクロブテン(BCB)材料を誘電体基板として用いた。基板材料の誘電率を決定するために,依存反射係数を抽出した。実験結果とシミュレーション結果の間の誤差は1%未満であった。シミュレーションと実験の両方が,薄い基板材料の誘電率が著者らの方法によって得られることを示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共鳴 ,  シミュレーション ,  等価回路 ,  *薄膜 ,  反射率 ,  誘電体 ,  *誘電率 ,  銅 ,  *マイクロストリップ線路 ,  長さ ,  材料 ,  リング共振器
準シソーラス用語： 基板材料 ,  *誘電率測定 ,  誘電体基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： アンテナ  (ND06000M) ,  発振回路  (NC05020Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 共鳴 ,  マイクロストリップ線路 ,  薄膜 ,  誘電率測定