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J-GLOBAL ID：202202285863388617   整理番号：22A0322908

二重溝構造上の高粘度銀ペーストのレーザ誘起前方移動【JST・京大機械翻訳】

Laser induced forward transfer of high viscosity silver paste on double groove structure

著者 (4件)： Shan Yilin (Guangdong Key Laboratory of Precision Equipment and Manufacturing Technology, School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China) ,  Zhang Xianmin (Guangdong Key Laboratory of Precision Equipment and Manufacturing Technology, School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China) ,  Chen Gengchao (Guangdong Key Laboratory of Precision Equipment and Manufacturing Technology, School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China) ,  Li Kai (Guangdong Key Laboratory of Precision Equipment and Manufacturing Technology, School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 148  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フロントサイドメタライゼーションは,太陽電池の生産のための重要なプロセスである。現在の研究は,指電極を下げ,印刷コストを下げることに焦点を当てた。レーザ誘起前方移動(LIFT)は,非接触で非マスクの利点を持ち,それは,フロントサイドメタライゼーションの間,ウエハ破損と銀ペースト使用を減らすことができる。LIFTは印刷コストの低減に有益であるが,指電極をさらに小型化することは困難である。本研究では,レーザエッチング二重溝構造を有するシリコンウエハを,LIFTの印刷分解能を増加させるためのアクセプタとして採用した。移動過程において,銀ペースト膜とアクセプタ間の接触は,二重溝間の狭い領域でのみ起こる。接触面積が制限されるので,印刷ラインの幅は狭い領域を超えない。この手法は,非接触と非マスク特性を維持しながら印刷分解能を改善する。印刷した線は平均幅が30.5μm,平均アスペクト比が0.97であった。さらに,線幅は特定のレーザフルエンス間隔内のレーザフルエンスの変動によって影響されない。異なる粘度による研究は4つの異なる移動様式を明らかにした。視覚観察システムを通して,異なる移動様式のドナー除去プロセスを観察した。実験結果は,鋭い形線移動だけが高分解能線を達成でき,最適結果が25Pa・sの粘度でのみ得られることを示した。最後に,二重パルス移動を採用して,過度の線厚変動の問題に対処した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アクセプタ ,  視覚 ,  太陽電池 ,  ドナー ,  *粘度 ,  印刷 ,  小型化 ,  パルス ,  メタライゼーション ,  高分解能 ,  フルエンス
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  *レーザ誘起 ,  接触面積 ,  シリコンウエハ ,  線幅 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： レーザ誘起前方移動 ,  銀ペースト ,  ライン印刷 ,  二重溝構造 ,  二重パルス移動

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高粘度 ,  銀ペースト ,  レーザ誘起