ニューラルネットワークアプリケーションのための高分子-炭素接着剤複合構造を有するガスセンサアレイ

YANG Bo-Chun; HSIAO Yu-Jen

文献

J-GLOBAL ID：202202286249400451 整理番号：22A0469638

ニューラルネットワークアプリケーションのための高分子-炭素接着剤複合構造を有するガスセンサアレイ

Gas Sensor Array with Polymer-carbon Glue Composite Structures for Neural Network Application

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資料名：
巻： 34 号： 1 (2) ページ： 163-173 発行年： 2022年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

本研究では,半導体とニューラルネットワークアプリケーションによるガスセンサアレイに焦点を当てた。2つの異なるセンシング膜,すなわち,希釈導電性水溶性炭素接着剤とポリマー-炭素接着剤積層膜を実験に用いて,多種のポリマーと多種のガスの間の差異と相関を比較した。実験では,13種のポリマーと5種のガス(空気,エタノール,CO,NO₂,およびNH₃)との反応を試験した。50μmの線幅と3mmのセンシング直径を有する16アレイセンサのセットを用いて,ウエハ表面にそのようなセンサを300nm厚のアルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)層で被覆した。センシング領域上に滴下した種々の高分子を用いて得たガス感度を試験し,小さな低エネルギー不均一ガス検知素子の感度を考察した。考慮した種々のガスは良好な分離特性と優れた選択性と再現性を有すると結論した。2つの異なるセンシング膜の中で,(ΔR/R)_max=149%のガス反応比は,空気基準線に対する炭素接着剤の抵抗に対して最も顕著であり,その結果,炭素膜は高分子-炭素膜より高いガス感度を示した。(翻訳著者抄録)

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分析機器

引用文献 (16件)：

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