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J-GLOBAL ID：202202286349356212   整理番号：22A1113430

アレイ上のゲートドライバの電気化学的耐食性を改善するためのインジウム-スズ-酸化物膜厚の調整【JST・京大機械翻訳】

Adjusting indium-tin-oxide film thickness to improve electrochemical corrosion resistance of gate driver on array

著者 (6件)： Yu Xiang (Beijing Key Laboratory of Materials Utilization of Nonmetallic Minerals and Solid Wastes, National Laboratory of Mineral Materials, School of Materials Science and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083, China) ,  Zhao Wenjing (Beijing Key Laboratory of Materials Utilization of Nonmetallic Minerals and Solid Wastes, National Laboratory of Mineral Materials, School of Materials Science and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083, China) ,  Yang Lei (Beijing Key Laboratory of Materials Utilization of Nonmetallic Minerals and Solid Wastes, National Laboratory of Mineral Materials, School of Materials Science and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083, China) ,  Zhang Pingping (Beijing Key Laboratory of Materials Utilization of Nonmetallic Minerals and Solid Wastes, National Laboratory of Mineral Materials, School of Materials Science and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083, China) ,  Zhang Zhiqiang (Beijing Key Laboratory of Materials Utilization of Nonmetallic Minerals and Solid Wastes, National Laboratory of Mineral Materials, School of Materials Science and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083, China) ,  Zhang Zhiqiang (Product Development Center, Beijing BOE Optoelectronics Technology Co., Ltd, Beijing 100176, China)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 750  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一般的な狭であるディスプレイは,高温および高湿度環境における異常表示に悩まされ,早期のデバイス故障をもたらす。アレイ(GOA)上のゲートドライバの電気化学的耐食性を改善することは,ディスプレイの欠点を克服する可能性がある。GOAスルーホール上の酸化インジウムスズ(ITO)の膜厚の調整を,電気化学的耐食性をその場改善するために提案した。4つの異なる厚さを有するナノITO膜を直流マグネトロンスパッタシステム中に堆積させた。微細構造と光電性能について系統的な調査を行い,高温と高湿度表示試験を現場試験に使用した。80.1nm膜は優れた表面平滑性と光電性能を示し,組み立てたGOAユニットは最良の電気化学的耐食性を示した。ITO膜厚みの調整は水蒸気からの侵入を防ぎ,抵抗熱の発生を低減することを示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高温 ,  微細構造 ,  故障 ,  *インジウム ,  酸化物 ,  *耐食性 ,  直流 ,  *電気化学 ,  表示装置 ,  膜厚 ,  現場試験 ,  スルーホール ,  酸化インジウムスズ
準シソーラス用語： 高湿度 ,  光電気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： インジウムすず酸化物 ,  膜厚 ,  アレイ上のゲートドライバ ,  電気化学的耐食性 ,  サービス寿命

分類 (4件)： 防食  (WB03040M) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光伝導,光起電力  (BM03050J)

タイトルに関連する用語 (9件)： アレイ ,  ゲート ,  ドライバ ,  電気化学 ,  耐食性 ,  インジウム ,  スズ ,  酸化物膜 ,  厚