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J-GLOBAL ID：202202286630383516   整理番号：22A0948415

可視および短波長赤外光検出器のための前面パネル電極被覆の研究【JST・京大機械翻訳】

Study of front panel electrode coatings for combined visible and short wavelength infrared photodetectors

著者 (5件)： Aleksandrova Mariya (Technical University of Sofia, Department of Microelectronics, Kliment Ohridksi blvd, 8, Sofia 1000, Bulgaria) ,  Dobrikov Georgy (Technical University of Sofia, Department of Microelectronics, Kliment Ohridksi blvd, 8, Sofia 1000, Bulgaria) ,  Pathan Habib (Savitribai Phule Pune University, Department of Physics, Ganeshkhind Road, Pune 411007, India) ,  Sartale Shrikrishna (Savitribai Phule Pune University, Department of Physics, Ganeshkhind Road, Pune 411007, India) ,  Videkov Valentin (Technical University of Sofia, Department of Microelectronics, Kliment Ohridksi blvd, 8, Sofia 1000, Bulgaria)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 54  号： P1  ページ： 57-62  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO-Ga_2O_3複合酸化物膜をRFスパッタし,光学的および電気的膜特性がスパッタリング条件および膜厚によってどのように影響を受けるかを調べた。目的は,簡単,透明でインジウムフリーの電極の必要性のための可視と短波長赤外(SWIR)電磁範囲のための高い透明性と同時に高い透明性を達成することであった。純粋なZnO膜との比較を行った。プラズマ電圧,プラズマパワーは,複合光検出器の作製のための蒸着膜の光電子特性を決定する際に重要な役割を果たすことを見出した。ZnO-Ga_2O_3膜の有効表面粗さは,プラズマ出力密度がそれぞれ35と54W/cm2の間で変化したとき,12.9nmと16.7nmの間で変化した。スパッタリングパワーの増加は,可視スペクトルからより長い波長に伝送バンドを狭めた。SWIR範囲の透明度は83~96%の間で変化し,プラズマパワーの増加とともに減少し,一方,可視領域における対応する透明度は60~82%の間で変化した。両電磁範囲で最高の透過率を示す最良のパラメータ下の膜のシート抵抗は,48Ω/sqの比較的低いシート抵抗を示した。作成した膜の潜在的応用は,空間情報利得,ゲームおよび仮想現実感および自律自動車ナビゲーションのためのロボット工学で使用されるVIS-IR検出器であり,そこでは,日中および夜間ビジョンが等しく重要である。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 可視スペクトル ,  プラズマ ,  蒸着膜 ,  *赤外線 ,  電圧 ,  *光検出器 ,  自動車 ,  *被覆 ,  *波長 ,  酸化亜鉛 ,  透明度 ,  *短波 ,  透過率 ,  シート抵抗
準シソーラス用語： 可視領域 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 光学コーティング ,  フロントパネル電極 ,  赤外光検出器 ,  ZnO-Ga_2O_3 ,  RFスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 短波 ,  赤外光 ,  検出器 ,  前面パネル ,  研究