ダイヤモンドワイヤ結晶シリコン切断中のワイヤ摩耗の強力制御のためのワイヤ-ボウその場測定【JST・京大機械翻訳】

Coustier F.; Riva R.; Carton L.; Chabli A.

文献

J-GLOBAL ID：202202286745729668 整理番号：22A1082583

ダイヤモンドワイヤ結晶シリコン切断中のワイヤ摩耗の強力制御のためのワイヤ-ボウその場測定【JST・京大機械翻訳】

Wire-bow in situ measurements for powerful control of wire-wear during diamond-wire crystalline silicon sawing

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資料名：
巻： 93 号： 3 ページ： 035101-035101-15 発行年： 2022年
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

工業型マルチダイヤモンドワイヤ鋸切断装置に埋め込まれた元の機器セットアップを,見かけのワイヤ直径,ワイヤウェブに適用した垂直力,および結晶シリコン煉瓦のウエハへの切削中のワイヤウェブボウのin situ測定用に提示した。Czochralskiシリコン煉瓦の切削中の垂直力とワイヤボウの間の比例関係は,理論計算によって予想されたように初めて実験的に観察された。その結果,in situボウ測定が,垂直力に反比例する切削効率の直接制御を提供することを示した。さらに,連続切削中のワイヤ-摩耗進展を,ワイヤウェブ上に分布したいくつかの湾曲センサを用いて,等価切削条件に対するin situボウ測定と共に,見かけのワイヤ直径のin situ測定を用いて解析した。湾曲測定処理から生じる切削効率の3次元プロットは,切断の進展中のワイヤウェブに沿った切削効率の分布へのアクセスを与える。使用したシリコン材料の均一特性を考えると,切削効率はワイヤ摩耗の代表である。さらに,切断中のワイヤウェブ上の測定の分布を提供するin situボウ測定のユニークな能力は,異なる切削条件に対するワイヤウェブ挙動とワイヤ切削効率分布の研究を可能にする。関連する物理現象の深い理解に基づくデータ解析と組み合わせた計装の革新的設計のおかげで,in situボウ測定が,ウエハ品質とコスト効率の点で切削プロセスを最適化するための強力なツールであることを示した。さらに,それは切削プロセスの間のパラメータを調整するためのドアを開けるリアルタイム情報を提供することができる。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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プラズマ装置・核融合装置一般 , その他の紡糸・製糸 , ファスナ類,締付,し緩,継手 , コロイド化学一般 , 固体デバイス製造技術一般

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