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J-GLOBAL ID:202202286765818506   整理番号:22A0322445

マグネトロンスパッタリングにより作製したp-CuO/i-Ga_2O_3/n-GaN発光ダイオードからの優れたエレクトロルミネセンスと電気特性【JST・京大機械翻訳】

Excellent electroluminescence and electrical characteristics from p-CuO/i-Ga2O3/n-GaN light-emitting diode prepared by magnetron sputtering
著者 (9件):
資料名:
巻: 243  ページ: Null  発行年: 2022年 
JST資料番号: D0731A  ISSN: 0022-2313  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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半導体技術の開発により,紫外線発光ダイオード(UV-LED)は,照明,殺菌,生物学的医療および他の分野で広く使われており,広い市場応用展望を有する。p-CuO/i-Ga_2O_3/n-GaNヘテロ接合ダイオードを高周波(RF)マグネトロンスパッタリング法により作製した。ダイオードの電気特性に対する周囲温度の影響を調べ,異なる周囲温度で高整流比を有する典型的なダイオード整流特性を示した。駆動電圧が±3Vのとき,順方向電流の温度感度は逆電流のそれより大きいことが分かった。さらに,2つのルミネセンスピークがエレクトロルミネセンス(EL)測定によって検出でき,1つは~370nmで強い紫外線(UV)ルミネセンスピークであり,他方は~500nmで広い深準位ルミネセンスピークであった。最終的に,ヘテロ接合ダイオードのエネルギーバンド図の観点からルミネセンス機構を考察した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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