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J-GLOBAL ID：202202287172703019   整理番号：22A1054079

半導体製造における層間輸送のためのMDPベースリフタ割当アルゴリズム【JST・京大機械翻訳】

An MDP-based lifter assignment algorithm for inter-floor transportation in semiconductor fabrication

著者 (3件)： Shin Kyohong (Material Handling Automation Group, Hwaseong-si, Korea) ,  Jang Hoon (College of Global Business, Korea University, Sejong-si, Korea) ,  Kim Haejoong (Department of Industrial and Management, Korea National University of Transportation, Chungju-si, Korea)
資料名： International Journal of Advanced Manufacturing Technology  (International Journal of Advanced Manufacturing Technology)
巻： 119  号： 9-10  ページ： 6583-6598  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0397A  ISSN： 0268-3768  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体デバイス形状が収縮し続けるため,半導体製造プロセスはますます複雑になる。これは通常,機械の不均衡な利用をもたらし,全体の生産性を低下させる。このような問題を解決する一つの方法は,床によって分割された異なる線の間の製造資源を共有することである。この目的のために,異なる床へのウエハロットの移動要求(TR)を効率的に管理するための効率的なリフター割当て法の設計が必要である。これに動機づけられて,本研究は,異なる床にウエハロットを送るためのリフタの割り当てを扱う。システムの現在の状態のみを考慮した以前の研究とは対照的に,この手法は,Markov決定プロセスにおける確率的方法で,システムの電流と可能な将来の状態の両方を考慮する。元の問題の次元のurseを克服するために,クラスタリング,分割,およびトーナメント法を用いて効率的なアルゴリズムを設計した。歴史的データに基づく実験は,実践におけるベンチマーク規則と最先端技術における方法と比較して,輸送時間と配信遅延を減らす際に提案したアルゴリズムの有効性を確認した。感度解析は,TRの数が増加するにつれて提案モデルのロバスト性を実証した。提案した手法は,運転コストと労働の両方において著しい経済的節約をもたらすことが期待される。Copyright The Author(s), under exclusive licence to Springer-Verlag London Ltd., part of Springer Nature 2021. corrected publication 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  電流 ,  *半導体 ,  半導体素子 ,  自動化 ,  生産性 ,  感度解析 ,  クラスタ化 ,  情報配布 ,  ウエハ【IC】 ,  ベンチマーク ,  ロバスト性 ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： *半導体製造 ,  確率的方法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 製造 ,  半導体 ,  自動化マテリアルハンドリングシステム ,  リフター ,  Markov決定過程

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  工程管理  (KB03030P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 半導体製造 ,  輸送 ,  リフタ ,  割当 ,  アルゴリズム