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J-GLOBAL ID：202202287410991426   整理番号：22A1035734

連続セルオートマトンアルゴリズムを用いた異方性結晶エッチングシミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Anisotropic Crystalline Etching Simulation Using a Continuous Cellular Automata Algorithm

著者 (2件)： Zhu Zhenjun (University of Illinois at Urbana-Champaign) ,  Liu Chang (University of Illinois at Urbana-Champaign)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE98  ページ： 577-582  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい連続セルラオートマトン(CA)モデルに基づく異方性結晶エッチングシミュレーション(ACES)プログラムの開発に関する結果を示した。プログラムは,高い空間分解能でエッチングプロセスの正確なモデリングを提供する。動的CA技術の実現は,シミュレーション速度の増加とメモリ要求の低減をもたらした。PCプラットフォームに基づく最初のACESソフトウェアを実現した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 異方性 ,  記憶装置 ,  *シミュレーション ,  モデリング ,  セルラオートマトン ,  ソフトウェア ,  空間分解能
準シソーラス用語： エッチング工程 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： セルオートマトン ,  アルゴリズム ,  異方性 ,  結晶 ,  エッチング ,  シミュレーション