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J-GLOBAL ID：202202288133788395   整理番号：22A0447572

超疎水性および反射防止光透過窓のための表面パターン形成および被覆SiまたはGeウエハの機械的挙動【JST・京大機械翻訳】

Mechanical behavior of surface-patterned and coated Si or Ge wafers for superhydrophobic and antireflective light transmitting windows

著者 (6件)： Doquet Veronique (CNRS UMR 7649, Laboratoire de Mecanique Des Solides, Ecole Polytechnique, Institut Polytechnique de Paris, Palaiseau, France) ,  Tanguy Alexandre (CNRS UMR 7649, Laboratoire de Mecanique Des Solides, Ecole Polytechnique, Institut Polytechnique de Paris, Palaiseau, France) ,  Hallais Simon (CNRS UMR 7649, Laboratoire de Mecanique Des Solides, Ecole Polytechnique, Institut Polytechnique de Paris, Palaiseau, France) ,  Guillemet Raphaeel (Thales Research & Technology-France, Palaiseau Cedex, France) ,  Cholet Julie (Thales Research & Technology-France, Palaiseau Cedex, France) ,  Jussey Doriane (Thales Research & Technology-France, Palaiseau Cedex, France)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 57  号： 2  ページ： 955-971  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミナまたはダイヤモンド被覆の保護効率と同様に,超疎水性および反射防止光透過窓を得るために,SiまたはGeウエハ上のリソグラフィーおよびエッチングステップによって作製された,切断ナノコーン格子の圧縮抵抗を,弾性座屈およびナノ圧縮試験の数値シミュレーションによって研究した。後者は,円錐の頂部の応力が塑性流または相変化を誘発するのに十分高いので,弾性解析の限界を明らかにした。Geナノコーンは圧縮において大きな延性を示し,室温でクリープするように見える。しかし,薄いアルミナまたはダイヤモンド被覆は,座屈と塑性流れの両方に対して効果的な保護を提供することが示された。表面パターニングは円錐の足で応力集中を誘起し,それは二軸曲げにおける基板の破壊抵抗を減少させることを示した。図式図はCopyright The Author(s), under exclusive licence to Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  延性 ,  クリープ ,  圧縮試験 ,  *ケイ素 ,  *ゲルマニウム ,  アルミナ ,  *被覆 ,  塑性流 ,  リソグラフィー
準シソーラス用語： 数値シミュレーション ,  *超疎水性 ,  ナノコーン ,  ダイヤモンド被覆 ,  *反射防止 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 疎水性 ,  反射防止 ,  光透過窓 ,  パターン形成 ,  Si ,  Ge ,  ウエハ ,  機械的挙動