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J-GLOBAL ID：202202288761514143   整理番号：22A0151460

光学的方法によるミクロおよびナノスケールでの材料およびデバイスの機械的性質測定:レビュー【JST・京大機械翻訳】

Mechanical properties measurement of materials and devices at micro- and nano-scale by optical methods: A review

著者 (2件)： Liu Mengxiong (Department of Engineering Mechanics, Center for Nano and Micro Mechanics, and Applied Mechanics Lab, Tsinghua University, Beijing, 100084, China) ,  Li Xide (Department of Engineering Mechanics, Center for Nano and Micro Mechanics, and Applied Mechanics Lab, Tsinghua University, Beijing, 100084, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 150  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 過去30年間,マイクロ/ナノ科学と技術の爆発的発展を目撃し,そこでは,材料の合成とマイクロおよびナノスケールでのデバイスの製作において,注目すべき研究努力がなされてきた。サイズと寸法を縮小する材料およびデバイスの異常な機械的挙動は,研究者への未解決の疑問を提起し,それは理論を前進させ,モデリングおよび実験ツールによって力学のフレームワークを拡大した。世界中の研究者は,この刺激的な分野に積極的に関与しており,機械的パラメータを測定し,マイクロおよびナノスケールでの材料およびデバイスの機械的挙動を理解するために顕著な貢献をしている。完全場,リアルタイムおよび非破壊測定技術としてのマイクロ光学法は,ミクロスケールでの材料の機械的性質を測定するのに用いる最も初期の技術の一つである。今まで,光学的方法は,研究材料およびデバイスのサイズのさらなる減少があっても,そのような小規模での材料およびデバイスの機械的特性測定の分野において,まだ刺激的な研究領域であり,それらの実験的プラットフォームは,走査電子顕微鏡(SEM),走査型透過電子顕微鏡(STEM),原子間力顕微鏡(AFM)など様々な走査顕微鏡プラットフォームに促進されてきた。本論文では,実験装置,クランプおよび負荷,変形キャリアまたはマーク,ホログラフィー,スペックルおよびモアレを含む光学法,および最後にこの高速発展分野における展望を概説する,小規模での光学的方法の計測原理および応用を明らかにする目的で,マイクロおよびナノスケールでの材料およびデバイスの機械的特性の測定のために開発した光学技術の研究進展をレビューした。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *機械的性質 ,  走査電子顕微鏡 ,  クランプ ,  ホログラフィー ,  スペックル ,  モアレ ,  原子間力顕微鏡 ,  非破壊測定
準シソーラス用語： *ナノスケール ,  力学的挙動 ,  光技術 ,  走査顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 機械的性質 ,  マイクロおよびナノスケール ,  光学的方法

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学 ,  ナノスケール ,  機械的性質 ,  レビュー