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J-GLOBAL ID：202202289198172909   整理番号：22A0467083

切欠きMEMS試験片の研究:弾塑性モデリングと実験試験【JST・京大機械翻訳】

Study of notched MEMS specimen: elasto-plastic modeling and experimental testing

著者 (3件)： Soma Aurelio (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Politecnico di Torino, 10129 Turin, Italy) ,  Pistorio Francesca (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Politecnico di Torino, 10129 Turin, Italy) ,  Mubasher Saleem Muhammad (Department of Mechatronics Engineering, National University of Sciences and Technology, 44000 Islamabad, Pakistan)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 32  号： 2  ページ： 025006 (16pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,静電作動下で引張荷重を受けた金微細構造の弾塑性挙動に及ぼす切欠きの存在による応力と歪濃度の影響を調べた。適用した静電荷重を有する中央試験片における誘起応力に対する実験的に測定したたわみに関連する試験微細構造の運動学モデルを開発した。ノッチ根における局所最大応力と歪をNeuber則を用いて解析的に推定し,詳細な非線形結合場電気構造有限要素法(FEM)ベース解析で検証した。塑性ひずみの蓄積と,各荷重サイクルによる対応するたわみの測定による繰返し引張荷重による中央切欠き試験片で誘起された塑性ヒンジの結果として生じる進展を解析するために,いくつかの実験試験を実施した。試験切欠き試験片とFEMベースのシミュレーション結果で実験的に観察された破壊条件間の比較は,切欠きが応力と歪上昇として作用し,薄膜金試験片における塑性ヒンジの開始と膨張を助長し,試験片破壊につながることを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 切欠き ,  シミュレーション ,  薄膜 ,  微細構造 ,  有限要素法 ,  金 ,  たわみ ,  *弾塑性 ,  塑性ヒンジ ,  塑性歪 ,  引張荷重 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 最大応力 ,  切欠き試験片 ,  運動学モデル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 切欠き ,  MEMS ,  試験片 ,  研究 ,  弾塑性 ,  モデリング ,  実験 ,  試験