文献

J-GLOBAL ID：202202289237202980   整理番号：22A0433571

Ni基超合金基板上の薄膜熱電対のためのナノ結晶YSZ/Al_2O_3複合膜の高温電気絶縁と接着【JST・京大機械翻訳】

High temperature electrical insulation and adhesion of nanocrystalline YSZ/Al2O3 composite film for thin-film thermocouples on Ni-based superalloy substrates

著者 (5件)： Liu Yang (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Jiang Hongchuan (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Zhao Xiaohui (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Deng Xinwu (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Zhang Wanli (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 579  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気的絶縁と接着は,Ni基超合金基板を有する統合薄膜センサのための2つの重要な側面である。本論文では,ナノ結晶イットリア安定化ジルコニア/アルミナ(YSZ/Al_2O_3)複合膜を反応性マグネトロンスパッタリングによりNi基超合金基板上に作製した。X線回折と走査電子顕微鏡の結果は,正方晶ジルコニア(t-ZrO_2)ナノ結晶が非晶質Al_2O_3マトリックス中に均一に分散していることを示した。t-ZrO_2ナノ結晶の結晶サイズは1000°Cまでの温度で良く維持された。膜の抵抗率は1000°Cで約108Ωcmであり,これは純Al_2O_3膜より3桁高い。さらに,このYSZ/Al_2O_3膜は,高温サイクルを受けた後でもNi基超合金基板との優れた靭性と密着性を示した。最後に,S型薄膜熱電対をYSZ/Al_2O_3膜上に作製し,900°Cまでの多重熱サイクル試験において,良好な安定性,再現性,および線形性を示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *高温 ,  *接着 ,  走査電子顕微鏡 ,  電気抵抗率 ,  *熱電対 ,  *薄膜 ,  アルミナ ,  靱性 ,  非晶質 ,  多重化 ,  *複合膜 ,  *ナノ結晶
準シソーラス用語： YSZ【セラミック】 ,  正方晶ジルコニア , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： YSZ/Al_2O_3複合膜 ,  薄膜熱電対 ,  高温 ,  電気絶縁 ,  接着 ,  Ni基超合金

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  腐食  (WB03030B) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ni基超合金 ,  薄膜 ,  熱電対 ,  ナノ結晶 ,  YSZ ,  複合膜 ,  電気絶縁