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J-GLOBAL ID：202202289597235747   整理番号：22A0472935

信号対雑音比を改善するための新しいMEMSセンサの概念【JST・京大機械翻訳】

A novel MEMS sensor concept to improve signal-to-noise ratios

著者 (3件)： Lam N. (Department of Mechanical Engineering, University of Canterbury, Christchurch, New Zealand) ,  Hayashi S. (Department of Mechanical Engineering, University of Canterbury, Christchurch, New Zealand) ,  Gutschmidt S. (Department of Mechanical Engineering, University of Canterbury, Christchurch, New Zealand)
資料名： International Journal of Non-Linear Mechanics  (International Journal of Non-Linear Mechanics)
巻： 139  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0727A  ISSN： 0020-7462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： センサの動的測定概念は,様々な異なる計量を使用する。いくつかのモニタは,振幅および/または位相をモニタし,一方,他は共振周波数または安定性閾値を追跡した。基礎となる物理に基づいて,著者らは,準静的および動的,線形および非線形,受動および能動,ならびに結合および分離概念を,さらに区別した。単一および/または分離振動子の線形,受動概念は最先端技術であり,今日,技術的応用に広く用いられているが,非線形,能動および/または結合振動子の特性ははるかに少ない。本研究では,外部動的負荷を受けるアクティブマイクロ電気機械システム(MEMS)の増幅特性を理論的に調べた。以前に導いた支配方程式は,統合自己センシングと自己作動機構を有する実際の複合MEMSカンチレバーを記述する。包括的動的解析を行い,平衡,モード解析,安定性マップおよび分岐図を含む,受動対応物とは対照的に,アクティブシステムの増幅特性を調べた。新しい洞察は,ヒト蝸牛におけるバイオセンサ特性によって観察できる活性系の操作に対する圧縮非線形増幅特性を明らかにした。将来の信号処理技術のためのノイズフィルタリング特性の著しい増加と信号対ノイズ比の電流限界をいかに克服できるかの簡単な議論で,研究を結論づける。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *SN比 ,  *雑音 ,  モード解析 ,  動荷重 ,  片持梁 ,  信号処理 ,  ヒト ,  蝸牛 ,  位相 ,  振動子 ,  共振周波数 ,  バイオセンサ ,  動的解析 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *MEMSセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 最小検出可能信号 ,  アクティブMEMSセンサ ,  非線形圧縮増幅器 ,  バイオインスパイアードセンサ ,  信号対雑音比

分類 (3件)： 共振器  (NC04050Y) ,  発振回路  (NC05020Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 信号対雑音比 ,  MEMSセンサ ,  概念