文献

J-GLOBAL ID：202202290145807169   整理番号：22A0570295

NH_3へのセンシング挙動を最適化するためのAg(NPs)/WO_2.72/Au(NPs)系におけるスパッタWO_2.72膜厚の変化【JST・京大機械翻訳】

Variation of sputtered WO_2.72 film thickness in Ag (NPs)/WO_2.72/Au (NPs) system for optimizing sensing behaviors to NH₃

著者 (1件)： Drmosh Q.A. (Interdisciplinary Research Center for Hydrogen and Energy Storage (IRC-HES), King Fahd University of Petroleum & Minerals (KFUPM), Dhahran 31261, Saudi Arabia)
資料名： Chemical Physics Letters  (Chemical Physics Letters)
巻： 790  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0824A  ISSN： 0009-2614  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,Ag NP/WO_2.72/Au NP薄膜の最適厚さの二重活性化を,DCスパッタリングとそれに続くアンモニアガス検知応用のための熱アニーリング処理により作製した。Ag NPs/WO_2.72/Au NPsセンサの応答レベルおよび最適作動温度に及ぼすWO_2.72厚さの影響を調べ,Ag NPs/WO_2.72およびWO_2.72膜と比較した。本研究で得られた結果は,Ag NPs/WO_2.72/Au NPの100ppmアンモニアに対する応答が84%であり,これはAg NPs/WO_2.72と純粋なWO_2.72のそれぞれ2倍と7倍高いことを示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 応答 ,  *最適化 ,  薄膜 ,  アンモニア ,  酸化タングステン ,  膜厚 ,  センサ
準シソーラス用語： 熱アニーリング ,  DCスパッタリング ,  アンモニアガス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  ガスセンサー ,  NH_3 ,  酸化タングステン ,  表面改質

分類 (2件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  触媒反応一般  (CB06080F)

タイトルに関連する用語 (8件)： センシング ,  挙動 ,  最適化 ,  Ag ,  Au ,  系 ,  スパッタ ,  膜厚