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J-GLOBAL ID：202202290189455145   整理番号：22A0229787

感光性ゾル-ゲル法によるフレキシブルニッケル-タングステン基板上に成長させた微細パターン形成YBCO膜【JST・京大機械翻訳】

Fine patterned YBCO films grown on flexible nickel-tungsten substrates by photosensitive sol-gel method

著者 (10件)： Li Limin (School of Material Science and Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Zhao Gaoyang (School of Material Science and Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Zhao Gaoyang (Advanced Material Analysis and Test Center, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Lei Li (School of Material Science and Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Lei Li (Advanced Material Analysis and Test Center, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Yan Fuxue (School of Material Science and Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Yan Fuxue (Advanced Material Analysis and Test Center, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Deng Bo (School of Material Science and Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Deng Bo (Advanced Material Analysis and Test Center, Xi’an University of Technology, Xi’an, Shaanxi 710048, China) ,  Li Chengshan (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an, Shaanxi 710016, China)
資料名： Materials Research Bulletin  (Materials Research Bulletin)
巻： 147  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0954A  ISSN： 0025-5408  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,フレキシブルデバイスのための加工技術の研究に関する努力は,かなり増加している。フレキシブルニッケル-タングステン(NiW)基板上のYBa_2Cu_3O_7-x(YBCO)微細パターンの作製は,フレキシブル超伝導電子デバイスの応用に有益である。最も挑戦的な課題は,NiW基板上のYBCO膜の微細パターニングと二軸エピタキシャル成長の同時達成である。本研究は,バッファ層としてガドリニウムドープジルコニウム酸ランタン(LGZO)膜を用いて,NiW基板上に微細パターン化YBCO膜を調製するために,全ての化学堆積プロセスと組み合わせた感光性ゾル-ゲルリソグラフィーの応用を報告する。高品質パターン化YBCO膜をLGZOバッファNiW基板上にエピタキシャル成長させ,フレキシブル基板上の良好な連続YBCOパターンを曲げ変形に耐えることができた。超伝導は機械的曲げ変形プロセス後も良いままであった。これらの結果は,フレキシブル超伝導デバイス応用の指針として有用である。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エピタクシー ,  超伝導 ,  超伝導素子 ,  二軸 ,  曲げ変形 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *パターン形成 ,  バッファ層 ,  *イットリウムバリウム銅酸化物 ,  *YBCO薄膜 ,  フレキシブル基板
準シソーラス用語： 電子素子 ,  高品質 ,  ジルコニウム酸ランタン ,  フレキシブルデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： フレキシブル基板 ,  微細パターン形成YBCO膜 ,  エピタキシャル成長 ,  柔軟な超伝導デバイス

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 感光性 ,  ゾル-ゲル法 ,  ニッケル ,  タングステン ,  成長 ,  微細パターン形成 ,  YBCO膜