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J-GLOBAL ID:202202290407812317   整理番号:22A0943655

効率的な化学センシングのための形態変異体酸化タングステン薄膜を合成する新しい方法【JST・京大機械翻訳】

Novel approach to synthesize morphology variant tungsten oxide thin films for efficient chemical sensing
著者 (8件):
資料名:
巻: 48  号:ページ: 12506-12514  発行年: 2022年 
JST資料番号: H0705A  ISSN: 0272-8842  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ホットフィラメント化学蒸着(HFCVD)技術を用いて,高品質ナノ結晶酸化タングステン(WO_3)薄膜のモルフォロジーを合成および改質するための新しいアプローチを設計した。薄膜は,非常に短い時間4~6minで,異なる処理条件を用いて,完全に異なる形態を有する合成に成功した。WO_3ナノ結晶粒(BWN)で装飾したブロッコリと,WO_3ナノ結晶粒(PWN)のピラミッド状成長を有する他の2種類の形態を得た。両方の調製したままの膜は優れた均一性を示し,追加のか焼/焼結を行わなくても標準的な単斜晶構造の生成を示した。形態変異体WO_3薄膜を検出電極として適用し,ジエチルアミン(DEA)化学のような毒性化学物質を検出した。より小さい粒径,より高い表面積およびより高い酸素含有量のため,BWN薄膜は,~3.5μAμM-1cm-2の良好な感度および高速応答~10sで,DEAセンシングにおいて有望な性能を提供した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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