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J-GLOBAL ID：202202290819956642   整理番号：22A0974845

柱状ナノ結晶粒強誘電体膜を用いたSi上の記録-高容量性エネルギー密度の達成【JST・京大機械翻訳】

Achieving a Record-High Capacitive Energy Density on Si with Columnar Nanograined Ferroelectric Films

著者 (6件)： Zhu Hanfei (Institute of Advanced Energy Materials and Chemistry, Jinan Engineering Laboratory for Multi-scale Functional Materials, Shandong Provincial Key Laboratory of Molecular Engineering, School of Chemistry and Chemical Engineering, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences),...) ,  Zhao Yu-Yao (Key Laboratory for Liquid-Solid Structure Evolution and Processing of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Shandong University, China) ,  Ouyang Jun (Institute of Advanced Energy Materials and Chemistry, Jinan Engineering Laboratory for Multi-scale Functional Materials, Shandong Provincial Key Laboratory of Molecular Engineering, School of Chemistry and Chemical Engineering, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences),...) ,  Wang Kun (Key Laboratory for Liquid-Solid Structure Evolution and Processing of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Shandong University, China) ,  Cheng Hongbo (Institute of Advanced Energy Materials and Chemistry, Jinan Engineering Laboratory for Multi-scale Functional Materials, Shandong Provincial Key Laboratory of Molecular Engineering, School of Chemistry and Chemical Engineering, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences),...) ,  Su Yu (Department of Mechanics, School of Aerospace Engineering, Beijing Institute of Technology, China)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 14  号： 6  ページ： 7805-7813  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最新の電子デバイスでは,高エネルギー密度誘電体膜キャパシタが望ましい。それらの小型化とSiベースのマイクロシステムへの統合は,回路内エネルギー供給,緩衝,および調整の機会を創出する。ここでは,記録-高回復エネルギー密度と良好な効率(8.75MV/cmで~242J/cm3と~76%)を有するSi上のBaTiO_3膜キャパシタの作製のためのCMOS(相補的金属酸化物半導体)適合性経路を提示した。これらのBaTiO_3膜を350°Cでスパッタ蒸着し,(001)集合組織を持つわずかに圧縮した超微細柱状ナノ結晶粒で構成した。このようなナノ構造は,高い絶縁破壊強度,減少した残留分極,および増強された最大分極を付与し,優れたエネルギー貯蔵性能に説明可能である。さらに,これらのBaTiO_3膜キャパシタは,高い電気的疲労抵抗,広い範囲の動作温度,および優れた周波数安定性を示した。工学的ナノ構造により,BaTiO_3のプロトタイプペロブスカイトは,容量エネルギー貯蔵応用に対して大きな有望性を示した。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *強誘電体 ,  コンデンサ ,  集合組織 ,  絶縁耐力 ,  分極 ,  *誘電体薄膜 ,  *ケイ素 ,  小型化 ,  *エネルギー密度 ,  疲れ強さ ,  ナノ構造 ,  残留分極 ,  *ナノ結晶
準シソーラス用語： 電子素子 ,  動作温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： フィルムコンデンサ ,  電気エネルギー貯蔵 ,  高エネルギー密度 ,  強誘電体 ,  BaTiO_3 ,  超微細柱状ナノ結晶粒(SCN)

分類 (3件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ結晶 ,  強誘電体膜 ,  Si ,  容量性 ,  エネルギー密度