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J-GLOBAL ID:202202290930252423   整理番号:22A0637780

酸素イオン支援反応性蒸発を用いて作製された制御された構造を有するアニールTiO_2膜のガラス化角蒸着法による光触媒特性【JST・京大機械翻訳】

Photocatalytic properties of annealed TiO2 films with controlled structure fabricated using oxygen-ion-assisted reactive evaporation with glancing angle deposition technique
著者 (3件):
資料名:
巻: 12  号:ページ: 015016-015016-7  発行年: 2022年 
JST資料番号: U7121A  ISSN: 2158-3226  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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二酸化チタン(TiO_2)は,光触媒反応,水浄化,および癌治療などの用途のための魅力的な材料である。しかし,堆積法による問題はTiO_2膜の性能に影響した。ここでは,酸素イオン支援反応性蒸発を,すれすれ角蒸着と組み合わせた,室温でTiO_2を堆積する方法を開発した。さらに,蒸着膜の結晶性,形態,および光触媒特性に及ぼす450-650°Cの入射角と空気アニーリング温度範囲の影響を調べた。物理的微細構造を,θ-2θX線回折法および電界放出走査電子顕微鏡により調べた。親水性は膜表面の純水の接触角を測定して評価した。有機分解特性を紫外線照射下でのメチレンブルーの分解によって評価した。アニーリング温度が増加すると,粒径が増加した。80°の高い入射角で高多孔質構造が形成され,TiO_2膜の有効表面積が増加した。さらに,良好な有機分解能力を,入射角80°で蒸着し,650°CでアニールしたTiO_2膜を用いて達成した。光触媒特性の改善をもたらす形態,親水性および比表面積のような改善された特性を有するTiO_2膜を堆積する方法を示した。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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酸化物薄膜 
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