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J-GLOBAL ID：202202291301828214   整理番号：22A0795866

容易で低コストのレーザアニーリングによる透明p型伝導体CuCrO_2:Mgデラフォサイト薄膜の改善された性能【JST・京大機械翻訳】

Improved performance of transparent p-type conductors CuCrO₂:Mg delafossite thin films through easy and low cost laser annealing

著者 (5件)： Veron F. (UMR CNRS 5085 Cirimat, Institut Carnot Chimie Balard Cirimat, Universite Toulouse III Paul Sabatier, 118 Route de Narbonne, 31 062 Toulouse, France) ,  Pasquet I. (UMR CNRS 5085 Cirimat, Institut Carnot Chimie Balard Cirimat, Universite Toulouse III Paul Sabatier, 118 Route de Narbonne, 31 062 Toulouse, France) ,  Thimont Y. (UMR CNRS 5085 Cirimat, Institut Carnot Chimie Balard Cirimat, Universite Toulouse III Paul Sabatier, 118 Route de Narbonne, 31 062 Toulouse, France) ,  Barnabe A. (UMR CNRS 5085 Cirimat, Institut Carnot Chimie Balard Cirimat, Universite Toulouse III Paul Sabatier, 118 Route de Narbonne, 31 062 Toulouse, France) ,  Tailhades Ph. (UMR CNRS 5085 Cirimat, Institut Carnot Chimie Balard Cirimat, Universite Toulouse III Paul Sabatier, 118 Route de Narbonne, 31 062 Toulouse, France)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 313  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： RFスパッタリングによりガラス基板上に蒸着した膜を,通常のフォトリソグラフィーマシンによる低パワーレーザスポットにより空気中で熱処理し,0.58の光透過率と5.8S.cm-1の伝導率を有する純粋なCuCr_0.97Mg_0.03O_2デラフォサイトを得た。Haackeの性能指数は2.07×10-7Ω-1に達するように改善された。したがって,フォトリソグラフィーマシンによるレーザアニーリングは,そのようなデラフォサイト相のp型透明導電体特性を高めるために非常に興味深い。選択したパターンに従った局所アニーリングも予測でき,これらの透明p型半導体のほとんどを高速かつ低コストで製造するための刺激的な見通しを開いた。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 基板 ,  *焼なまし ,  *薄膜 ,  特性 ,  酸化物 ,  P型半導体 ,  透過率 ,  RFスパッタリング ,  *導体 ,  *レーザアニーリング ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  レーザ直接描画 ,  透明導電性酸化物 ,  *デラフォサイト ,  光透過率 ,  伝導率 ,  P型伝導 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： デラフォサイト ,  レーザ直接描画 ,  p型透明導電性酸化物(TCO)

分類 (5件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 容易 ,  レーザアニーリング ,  P型伝導 ,  Mg ,  デラフォサイト ,  薄膜