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J-GLOBAL ID：202202292115338775   整理番号：22A0445051

電気化学的マイクロマシニングを用いた正方形マイクロパターンの生成【JST・京大機械翻訳】

Generation of square micropattern using electrochemical micromachining

著者 (3件)： Kunar S. (Department of Mechanical Engineering, Aditya Engineering College, Surampalem 533437, India) ,  Kumar R. (Department of Mechanical Engineering, Aditya Engineering College, Surampalem 533437, India) ,  Reddy M.S. (Department of Mechanical Engineering, Aditya Engineering College, Surampalem 533437, India)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 49  号： P5  ページ： 1210-1214  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面マイクロテクスチャリングは,機械駆動部品の界面機能性能の強化において実質的な役割を達成する。良質な正方形マイクロパターンを生成するために,マスクレス電気化学マイクロマシニング(EMM)は実行可能なオプションである。マスクレスEMMは,マイクロパターンを生成するために採用され,そこでは,被加工品は,被覆工具表面に緊密に囲まれたマスクとの相互作用によって閉じられ,そして,ジョブの電気分解は,密閉セルに含まれる。マイクロパターニングセル,パルス電気ユニットおよび垂直交差流電解質システムを含む良質な正方形マイクロパターンを生成するために,特別なマイクロパターニング装置を開発した。このユニットにおけるジョブ表面上の開発フロー法は,より良い良質のマイクロパターンを生成する。再利用したテクスチャツールと開発したフロー法を密閉ユニットにおけるマスクレスEMMに適用し,スラッジを根絶し,より高い深さでマイクロパターンを作製した。このユニークな方法は,マイクロパターンの寸法精度を改善する効率的な方法である。入力基準,すなわち,電圧,デューティ比および周波数の影響を,表面粗さ,電流効率,長さオーバーカット,およびテクスチャ深さに関して,この技術を使用して研究した。実験結果は,最良のパラメトリック組合せ,すなわち,最良のパラメトリック組合せを示した。30%デューティ比,5kHz周波数および8V電圧は,マイクロパターン化品質を強化した。最良の入力基準の組み合わせを達成するための顕微鏡写真に基づいて研究を行った。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  相互作用 ,  電圧 ,  電解 ,  電流効率 ,  顕微鏡写真 ,  電解質 ,  *電気化学 ,  パルス ,  被覆工具 ,  直交性 ,  *マイクロマシニング
準シソーラス用語： ミクロパターン形成 ,  デューティサイクル ,  高品質 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： マスクレスEMM ,  マイクロテクスチャ ,  正方形マイクロパターン ,  再利用マスクツール ,  寸法精度 ,  深さ ,  表面粗さ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気化学 ,  マイクロマシニング ,  正方形 ,  マイクロパターン