抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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過去10年間,マイクロマシニング技術はミクロンサイズの機械部品を製造するのに利用できるようになった。マイクロマシンにはいくつかのユニークな特徴がある。最初に,典型的なマイクロマシン変換器サイズは100ミクロンオーダーで,従来のセンサやアクチュエータよりも1桁以上小さい。これらのより小さなサイズによる慣性の劇的な減少は,周波数応答の実質的な増加を意味する。第2に,IC製作に特徴的なバッチ処理を用いて,広い領域にわたる分散センシングと作動のための多数の変換器を作成できる。この能力は,2Dドメインにおける特定の流れ特性を感知し,適切な位置で制御を行うことを可能にする。潜在的な応用領域は,乱流境界層における表面せん断応力の低減を含む。第3に,マイクロマシン製造技術は,IC製作と完全に互換性がないが,ICをマイクロ変換器と統合し,論理能力を提供することが可能である。統合マイクロエレクトロニクスとマイクロマシンは一体型マイクロシステムを構成し,それはモノリシックレベルで感覚決定作動を実行することができる。せん断応力低減のためのマイクロシステムを1cm×1cmダイ上に作製した。18のマイクロせん断応力センサ,3つのマイクロフラップアクチュエータ,および論理センサドライバのための回路,およびアクチュエータドライバをモノリシックに統合した。高速ストリークの寿命は短く,多数のストリークは同時に制御する必要がある。センサ出力の全てが中心コンピュータに送られ,制御コマンドがコンピュータから各アクチュエータに送られるならば,非常に高い帯域幅信号経路と多数のリードが必要である。局所および単純な信号処理の実装は,これらの問題を緩和するための必要性である。ニューラルネットワークは実行可能な手法である。ニューラルネットワークベース回路を開発し,せん断応力センサアレイを通過する高速ストリークの時間と空間範囲を決定した。回路の出力を作動に用いた。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
