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J-GLOBAL ID：202202294516471664   整理番号：22A0974715

パルスレーザ堆積により成長させたAl_2O_3/TiO_2ナノラミネートにおけるMaxwell-Wagner緩和駆動高誘電率【JST・京大機械翻訳】

Maxwell-Wagner Relaxation-Driven High Dielectric Constant in Al₂O₃/TiO₂ Nanolaminates Grown by Pulsed Laser Deposition

著者 (9件)： Padhi Partha Sarathi (Oxide Nano Electronics Lab., Laser Material Processing Division, Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, India) ,  Padhi Partha Sarathi (Homi Bhabha National Institute, India) ,  Rai Sanjay Kumar (Synchrotrons Utilization Section, Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, India) ,  Srivastava Himanshu (Synchrotrons Utilization Section, Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, India) ,  Ajimsha Rohini Sreedharan (Oxide Nano Electronics Lab., Laser Material Processing Division, Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, India) ,  Srivastava Arvind Kumar (Homi Bhabha National Institute, India) ,  Srivastava Arvind Kumar (Synchrotrons Utilization Section, Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, India) ,  Misra Pankaj (Oxide Nano Electronics Lab., Laser Material Processing Division, Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, India) ,  Misra Pankaj (Homi Bhabha National Institute, India)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 14  号： 10  ページ： 12873-12882  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ約2~0.5nmのAl_2O_3とTiO_2(ATA)の交互超薄サブ層の多層ナノ積層体(NLs)を,最適化したパルスレーザ蒸着(PLD)により作製した。Maxwell-Wagner(M-W)緩和誘起界面分極を実現し,サブ層厚さと界面数を正確に制御することによって設計した。ATA NLsのX線反射率および断面透過電子顕微鏡測定は,約0.8nmのサブ層厚さまで,化学的および物理的に異なる界面を有する明確な均一に厚い非晶質サブ層を有する人工周期性を明らかにした。ATA NLsの誘電率と損失は,サブ層厚が2から0.8nmに減少すると,それぞれ,~60から670に増加し,約0.9から0.16に減少した。しかし,0.8nm以下のサブ層厚さでは,傾向は逆転した。さらに,温度依存インピーダンス分光研究は,TiO_2とAl_2O_3サブ層に対応する2つの異なる熱活性化緩和過程を明らかにし,M-W緩和を確証した。ATA NLのサブ層間の伝導率コントラストは,サブ層厚さの減少で増加し,約0.8nmのサブ層厚さで平坦になり,結果として,支配的なM-W界面分極と~50kHzの高いカットオフ周波数をもたらした。これらの結果は,PLDによって成長したATA NLsが次世代ナノエレクトロニクスデバイスのための潜在的高k材料として応用を見出すかもしれないことを示す。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： インピーダンス ,  界面 ,  コントラスト ,  最適化 ,  誘電損失 ,  *誘電率 ,  温度依存性 ,  非晶質 ,  *緩和現象 ,  層厚 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： X線反射率 ,  界面分極 ,  伝導率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノラミネート ,  インピーダンス分光法 ,  高誘電率 ,  低誘電損失 ,  カットオフ周波数

分類 (5件)： 固-固界面  (CB12060M) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  金属-絶縁体-半導体構造  (BM03085X) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザ堆積 ,  成長 ,  ナノラミネート ,  Maxwell-Wagner緩和 ,  高誘電率