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J-GLOBAL ID：202202294765184227   整理番号：22A1124870

遠心法曲面接着剤のフィルム厚さ研究【JST・京大機械翻訳】

Research on resist-layer thickness by spin-coating on curved substrate

著者 (5件)： Xie Mengtao (中国科学院電工研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049) ,  Liu Junbiao (中国科学院電工研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049) ,  Wang Pengfei (中国科学院電工研究所,北京100190) ,  Zhang Lixin (中国科学院電工研究所,北京100190) ,  Han Li (中国科学院電工研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 30  号： 1  ページ： 71-77  発行年： 2022年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 露光過程中の遠心塗布後のレジスト層の均一性は露光線幅に大きく影響する。高速回転における腐食抑制剤コロイドが凹面基板上に形成した膜層の厚さの均一性を得るために、凹面基板上で非ニュートン流体マイクロ要素が遠心回転する流体動力学モデルを構築した。対応する境界条件、非Newton流体の構成方程式と連続性方程式に基づき、流体特性、曲面面形状、回転速度と時間などの要素と最終厚さの関係式を導出した。950KPMMAC2%レジストの流体特性をレオメータを用いて校正し、凹面基板上で回転速度を単一変数とし、遠心塗布実験を行い、分光エリプソメータを用いて遠心後のベクトル半径の変化に伴うコロイドの厚さを測定し、理論導出と対比した。実験結果は以下を示した。回転速度が2000r/minのとき,理論厚さは267nmであり,実験で測定した厚さは230nmであり,偏差比は13.86%であった。回転速度が3000r/minのとき,理論厚さは178nmであり,実験で測定した厚さは172nmであり,偏差比は3.37%であった。サイジング後、前ベーキングプロセスは更にゴム層の厚さを減少し、偏差は正常範囲内にある。本文で確立した数学モデルは良い予見性を持ち、コロイドが回転遠心後の均一性に対して理論的指導を提供できる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 非Newton流体 ,  ベクトル ,  流体力学 ,  *接着剤 ,  実験 ,  腐食抑制剤 ,  数学モデル ,  コロイド ,  サイジング ,  露光 ,  境界条件 ,  回転数 ,  レジスト ,  エリプソメータ ,  構成方程式

分類 (3件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 曲面 ,  接着剤 ,  フィルム厚さ ,  研究