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J-GLOBAL ID：202202297307908353   整理番号：22A0232325

増強光音響分光法のための容量変換を有するシリコンマイクロメカニカル共振器【JST・京大機械翻訳】

A silicon micromechanical resonator with capacitive transduction for enhanced photoacoustic spectroscopy

著者 (7件)： Trzpil Wioletta (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France) ,  Charensol Julien (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France) ,  Ayache Diba (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France) ,  Maurin Nicolas (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France) ,  Rousseau Roman (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France) ,  Vicet Aurore (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France) ,  Bahriz Michael (IES, Univ. Montpellier, CNRS, F-34000 Montpellier, France)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 353  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,光音響分光法に基づくガスセンサのための容量変換を有するシリコンマイクロメカニカル共振器の設計について述べた。それはセンサ作動原理から生じる反対の物理的傾向によって課された問題を克服する。容量変換機構は,減衰効果による機械的変位を低減するので,光音響ガス検出と両立しないと考えられ,感度を低下させる。これは,同じ部分が2つの機能,すなわち光音響励起と容量変換を果たすので,起こる。本研究で示唆したアプローチは,これらの2つの関数の空間的分離に焦点を合わせる。光音響励起と容量変換を分離する光音響ガスセンシングのための初めて報告された機械的マイクロ共振器を提案した。この設計をモデル化し,製作し,キャラクタリゼーションし,コンパクトで選択的なガスセンサの参照であるオンビーム石英増強光音響分光法(QEPAS)技術と比較した。実施した光音響測定を,メタンの較正濃度で行った。最初の高調波検出における1s積分時間に対して,シリコンマイクロ共振器に対して667ppmvの検出限界(LOD)を得た。ビームQEPAS技術と比較して,QEPASとMEMSの間の因子4を構成する163ppmvのLODを得た。両実験の条件は同じであった。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 音響測定 ,  *共振器 ,  励起 ,  石英 ,  *音響 ,  *ケイ素 ,  形質導入 ,  検出限界 ,  センサ ,  *光音響分光法 ,  ガスセンサ ,  微小共振器 ,  MEMS ,  アルカン
準シソーラス用語： 動作原理 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 光音響 ,  ガスセンサー ,  MEMS ,  容量性形質導入 ,  マイクロメカニカル共振器 ,  スペクトロスコピー

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (3件)： 増強 ,  光音響分光法 ,  共振器