特許

J-GLOBAL ID：202203001318073397

感光性樹脂用の剥離用溶剤

発明者： ブールデッテ, アルノー
出願人/特許権者： ローディア オペレーションズ
代理人 (1件)： 園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：EP2016071695
特許番号：特許第7030688号
出願日： 2016年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 下記の溶剤(S1)および(S2): (S1)下式(I): R1OOC-A-CONR2R3 (I)(式中: R1は、1~36個の範囲の炭素原子の平均数を含む、飽和もしくは不飽和の、線状もしくは分岐の、任意選択的に環式の、任意選択的に芳香族の、炭化水素ベースの基から選択される基であり; R2およびR3は、同一であっても異なってもよく、1~36個の範囲の炭素原子の平均数を含む、飽和もしくは不飽和の、線状もしくは分岐の、任意選択的に環式の、任意選択的に芳香族の、任意選択的に置換された、炭化水素ベースの基から選択される基であり、R2およびR3は一緒に、任意選択的に置換されているおよび/または任意選択的にヘテロ原子を含む、環を任意選択的に形成することができ、 Aは、2~12個の範囲の炭素原子の平均数を含む、線状もしくは分岐の二価のアルキル基である)に相当する少なくとも1種のエステルアミド化合物を含む溶剤(S2)ジメチルスルホキシド DMSOの混合物を含むかまたは混合物からなる溶剤の混合物の、フォトレジストを剥離するための使用。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  C09D 9/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B ,  C09D 9/00